實(shí)驗(yàn)室PECVD設(shè)備由SGM TF1200雙溫區(qū)真空管式爐、石英真空室、射頻電源、GX供氣系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)組成。雙溫區(qū)管式爐每個(gè)溫區(qū)可以獨(dú)立控制、設(shè)置不同的溫度。采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，抽真空時(shí)真空度能夠達(dá)到10-3Pa。
該爐安裝有行程開關(guān)，當(dāng)爐蓋打開時(shí)會(huì)自動(dòng)切斷電源。該爐通過(guò)射頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)?？梢酝ㄟ^(guò)射頻電源的頻率來(lái)控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高所需的溫度更低。
電阻爐均采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，標(biāo)配30 段程序控溫系統(tǒng)，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，能快速升降溫。該爐具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、 升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測(cè)用的理想產(chǎn)品。
實(shí)驗(yàn)室PECVD設(shè)備主要特點(diǎn)：
1、通過(guò)射頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)。
2、PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積所需的溫度更低。
3、可以通過(guò)射頻電源的頻率來(lái)控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小。
4、PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高。
5、廣泛應(yīng)用于：各種薄膜的生長(zhǎng)，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和無(wú)定型硅(a-Si:H) 等。
這款SGM TF1200-PECVD系統(tǒng)以瑞典Kanthal電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端能不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時(shí)真空度能夠達(dá)到10-3 Pa，具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能、等優(yōu)點(diǎn)。
SGM TF1200 PECVD系統(tǒng)組件配置：
一、SGM TF1200 PECVD系統(tǒng)控溫儀表： 采用宇電程序控溫儀表。（可選配日本島電，英國(guó)歐陸等進(jìn)口品牌）
1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。（可選配50段程序儀表或液晶觸摸屏儀表）
2、具有過(guò)溫保護(hù)、斷偶保護(hù)，過(guò)溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路會(huì)自動(dòng)切斷，（當(dāng)電爐溫度超過(guò)1200度或熱電偶燒斷時(shí)，主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。
3、帶有485通訊接口（選購(gòu)軟件時(shí)標(biāo)配）
4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時(shí)爐溫開始升。
5、儀表具有溫度自整定的功能。
二、開門保護(hù)系統(tǒng)：該爐安裝有行程開關(guān)，當(dāng)爐蓋打開時(shí)會(huì)自動(dòng)切斷電源，有效地保證使用者。
三、爐膛材料： 采用優(yōu)質(zhì)氧化鋁多晶纖維材料，不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場(chǎng)均衡，抗熱漲冷縮能力強(qiáng)。
四、加熱元件： 采用首鋼電爐絲或瑞典康奈爾A1電阻絲加熱元件， 溫場(chǎng)均衡、使用壽命長(zhǎng)。
五、漏電保護(hù)功能： 該爐裝了漏電空氣開關(guān)，當(dāng)爐體漏電或電流超過(guò)額定電流時(shí)空開會(huì)自動(dòng)關(guān)閉以切斷電源。
六、軟件控制系統(tǒng)（選購(gòu)）：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過(guò)電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來(lái)，隨時(shí)可以調(diào)出。
七、控制系統(tǒng)：
1、電器：正泰，
2、可控硅：德國(guó)西門康106/16E，
3、 觸發(fā)器：移相觸發(fā)。
八、選配件：
1、50段程序控溫，
2、液晶觸摸屏控制器或進(jìn)口溫度控制器
3、爐膛尺寸可定做
4、可增加進(jìn)氣、排氣閥門
5、爐膛材料可選進(jìn)口材料
6、可選UL認(rèn)證電器板
7、電器部分可選配ABB產(chǎn)品
8、可根據(jù)客戶需求定做各種非標(biāo)型號(hào)產(chǎn)品
實(shí)驗(yàn)室PECVD設(shè)備技術(shù)參數(shù)：
1、額定溫度：1100℃
2、更高溫度：1200℃
3、電壓：220V
4、加熱段：205mm+205mm
5、溫控方式：智能化30段可編程控制
6、熱電偶：K型
7、加熱元件：瑞典Kanthal-A1電阻絲
8、升溫速率：≤30℃/min 推薦升溫速率：≤15℃/min
9、等離子射頻電源：輸出功率：50-500w更大可調(diào)±1% 穩(wěn)定性
頻率：13、56MHz ±0、005%
噪聲：<50dB
冷卻：空氣冷卻
輸入功率：AC 220V，500W
10、真空泵和閥門：采用KF25系列波紋管和精細(xì)球閥連接
真空度可達(dá)10-3Pa
數(shù)字真空壓力表可直觀的顯示數(shù)值
11、質(zhì)量流量計(jì)：內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量訓(xùn)科準(zhǔn)確的控制氣體流量
氣體流量范圍為0-200sccm，誤差：0、02%
一個(gè)氣體攪拌罐上安裝了液體釋放閥的底部情況
不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動(dòng)控制混合氣體輸入的數(shù)量
進(jìn)氣口：采用雙卡套接頭
雙溫區(qū)管式爐規(guī)格：
| 型號(hào) | SGM TF1200-1200-PE-I | SGM TF1200-1200-PE-II | SGM TF1200-1200-PE-III | SGM TF1200-1200-PE-IV |
| 爐管尺寸 | Φ60X1200 | Φ80X1200 | Φ100X1200 | Φ150X1200 |
| 設(shè)計(jì)溫度 | 1200℃ | 1200℃ | 1200℃ | 1200℃ |
| 功率(KW) | 3、5 | 3、5 | 3、5 | 5 |
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