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實驗室CVD系統(tǒng):多路混氣系統(tǒng)+真空系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱洛陽西格馬高溫電爐有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地洛陽市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2024/3/15 9:45:19
  • 訪問次數(shù)234
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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西格馬高溫電爐是具有多年專業(yè)研發(fā)生產(chǎn)電阻爐廠家,產(chǎn)品含:箱式電阻爐,箱式馬弗爐,箱式高溫爐,智能馬弗爐,井式高溫電爐,高溫實驗電爐,義齒爐,升降爐,真空氣氛燒結(jié)爐,粉末冶金燒結(jié)爐,真空爐,真空氣淬爐,井式爐,井式滲碳爐,真空退火爐,罩式退火爐,臺車式退火爐、真空熱壓爐、淬火爐、熱震爐。西格馬高溫電爐質(zhì)量好,性能穩(wěn)定,值得信賴.洛陽西格馬高溫電爐位于中國高溫耐火材料與高溫電爐產(chǎn)業(yè)基地內(nèi)。洛陽西格馬高溫電爐具有多年的研發(fā)與生產(chǎn)經(jīng)驗、擁有多項技術(shù)。擁有一批多年從事高溫電爐專業(yè)設(shè)計、造詣深厚且技術(shù)、實踐經(jīng)驗豐富的高級工程技術(shù)人員和管理人員。* 西格馬座落在古都、牡丹之鄉(xiāng)、洛陽市開發(fā)區(qū)。* 西格馬擁有多項高溫技術(shù)和高溫加熱技術(shù)、隔熱技術(shù)、真空技術(shù)。高溫技術(shù)已實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化、成熟化,應(yīng)用于企業(yè)的技術(shù)進步,取得了良好的社會效益。* 2005年被省認(rèn)定為“產(chǎn)品”和“企業(yè)”。被洛陽市評定為“知識產(chǎn)權(quán)*單位”。* 2005年已通過ISO9001:2000國際質(zhì)量體系認(rèn)證,企業(yè)的科技水平和管理水平不斷提高。* 公司擁有進出口經(jīng)營權(quán)。產(chǎn)品已銷往香港、中國臺灣地區(qū)以及韓國、越南、馬來西亞等國家。* “西格馬”和“喜格馬”兩項商標(biāo),已在國家商標(biāo)局注冊;“西格馬”和“喜格馬”的品牌效應(yīng),在行業(yè)內(nèi)迅速發(fā)展、不斷提升。* “西格馬”的質(zhì)量方針:誠信為本、品質(zhì)為先,打造實驗室儀器優(yōu)質(zhì)品牌!以人為本、科技創(chuàng)新,全力服務(wù)實驗儀器現(xiàn)代化?。? “西格馬”的口號是:西格馬爐業(yè)永遠與實驗室相伴!讓我們共同享受技術(shù)帶來的方便和效益!主要生產(chǎn):等溫空氣循環(huán)淬火爐、鐘罩爐、升降爐、電熱纖維爐、人工智能箱式電阻爐1000℃、1200℃高溫箱式電阻爐、1350℃管式電阻爐、1600℃馬弗爐、1750℃、1800℃箱式高溫爐、2000℃超高溫爐、2600℃超高溫爐、真空氣氛箱式電阻爐、氣壓爐、熱壓爐、真空氣氛管式電阻爐、燃燒燒結(jié)分析儀、氣固催化反應(yīng)爐、藍寶石晶體生長爐、單雙向料車、電子天平、真空淬火爐產(chǎn)品。擁有多項中國技術(shù)發(fā)明和多項知識產(chǎn)權(quán)。被省認(rèn)定為“企業(yè)”和“產(chǎn)品”通過ISO9001國際質(zhì)量管理體系認(rèn)證
電阻爐
實驗室CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng)組成,實驗室CVD系統(tǒng)采用常規(guī)管式爐配合相應(yīng)的流量控制系統(tǒng)和配套真空泵實現(xiàn)整套的氣相沉積系統(tǒng),加熱可選擇1200℃、1400℃、1700℃各種溫區(qū)管式爐,氣體配置可選1路、2路、3路、5路浮子流量計或質(zhì)量流量計,真空系統(tǒng)可以選擇0.5-8升機械泵、擴散泵、分子泵機組
實驗室CVD系統(tǒng):多路混氣系統(tǒng)+真空系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

實驗室CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng)組成,實驗室CVD系統(tǒng)采用常規(guī)管式爐配合相應(yīng)的流量控制系統(tǒng)和配套真空泵實 現(xiàn)整套的氣相沉積系統(tǒng),加熱可選 擇1200℃、1400℃、1700℃各種溫區(qū)管式爐,氣體配置可選1路、2路、3路、5路浮子流量計或質(zhì)量流量計,真空系統(tǒng)可以選擇0.5-8升機械泵、擴散泵、分子泵機組。真空度可達10-5PA。洛陽西格馬可生產(chǎn)四通道雙溫區(qū)cvd系統(tǒng)、爐膛可移動式CVD、PECVD系統(tǒng)設(shè)備。

CVD系統(tǒng)管式爐是一款小型化學(xué)氣相沉積薄膜類制備設(shè)備,實驗室CVD系統(tǒng)包括:供氣系統(tǒng)集成、真空系統(tǒng)集成等。體現(xiàn)出體積小、操作方便、智能化程度高等特點。
 

爐膛可移動式CVD介紹:

爐膛可移動式CVD系統(tǒng)是一個特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專門為在金屬箔上生長薄膜而設(shè)計,特別是應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究。通過滑動爐子可以實現(xiàn)物料的快速加熱和冷卻。

爐膛可移動式CVD技術(shù)參數(shù):

CVD名稱

1200℃雙管滑道式CVD系統(tǒng)

電爐名稱 爐膛可移動式雙管管式爐

爐管尺寸

雙石英管

外管:OD 100 x ID 96 x 1400 mm

內(nèi)管:OD 80 x ID 75 x 1800 mm

加熱區(qū)

220+220mm

供電電源

230V,單相,50HZ

功率

4.0 kw

加熱元件

電阻絲

升溫速率

0-20°C/min

熱電偶

 K型

水冷系統(tǒng)

1.水冷機 CW-3000

2.水冷,密封雙管的真空法蘭:允許反應(yīng)氣體通過兩管之間(10mm間隙)發(fā)生反應(yīng),冷卻氣體直接通入內(nèi)管.

真空系統(tǒng)

1. 防腐數(shù)顯真空計   

2. VRD-16旋片泵,抽速4L/S,含擋板閥 KF25接口,波紋管和箱體

雙路流量計混氣系統(tǒng)(可選質(zhì)子流量計或浮子流量計)

CVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)

名稱

雙通道

三通道

四通道

五通道

CVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
多通道質(zhì)量流量控制

工作溫度:5~45ºC
額定壓力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
線性:±(0.5-1.5)%F.S

重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用

工作溫度:5~45 ºC
額定壓力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
線性:±(0.5-1.5)%F.S
重復(fù)精度:±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
三路: 1~499 SCCM 
注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用

工作溫度:5~45 ºC
額定壓力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
線性:±(0.5-1.5)%F.S.

重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用

工作溫度: 5~45 ºC
額定壓力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
線性:±(0.5-1.5)%F.S.
重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客戶要求定制

輸入電源

 AC 220V/50Hz單相

功率

  23W

PLC觸摸屏

CVD化學(xué)氣相沉積多通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng)各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在觸摸屏上 

機械壓力表

有一機械壓力表安裝于前面板上,與混氣罐相連接

 量程:-0.1~0.15 MPa 

針閥

316 不銹鋼

通氣管道

內(nèi)部連接管道為Φ不銹鋼管 

外部通氣管道為Φ聚四氟管

混氣罐

Φ80X120mm

截止閥及配件

·316不銹鋼針閥 

 Φ6mm 不銹鋼管

外形尺寸

 600mm(L)x745mm(W)x700mm(H)

質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終身維護


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