該設(shè)備專為實驗室已有普通管式爐的用戶開發(fā)而成,僅需要用戶提供一下管子高度和直徑即可改造。底部配備可移動爐架,方便移動和擺放位置。等離子體發(fā)生器的電源功率有100、200、300、500、1000W等功率可選,射頻功率自動匹配,僅需一鍵操作即可啟輝。
射頻電源功率: | |
信號頻率: | 13.56 MHz±0.005% |
功率輸出范圍: | 5W-1000W可選 |
功率穩(wěn)定度: | ±0.1% |
整機效率: | >=70% |
功率因數(shù): | >=90% |
冷卻方式: | 強制風(fēng)冷 |
真空部分: | |
功率: | 300W |
抽氣速率: | 2Ls |
極限真空: | 4X10-2Pa |
氣路系統(tǒng): | |
3路質(zhì)量流量計可選: | |
準確度: | ±1.5% |
重復(fù)精度: | ±0.2% |
工作壓差范圍: | 0.1~0.5 MPa |