該產(chǎn)品主要適用于近空間升華法制備樣品薄膜，例如CdTe和CdS薄膜。設(shè)備結(jié)構(gòu)上采用雙管結(jié)構(gòu)，外管直徑為110mm，一端封閉，內(nèi)管直徑為90mm。工藝氣氛從外管通入，內(nèi)管流出，使得氣氛更充分地與樣品接觸。通過爐膛左右移動(dòng)實(shí)現(xiàn)快速升降溫。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：
1. 爐膛內(nèi)采用上下兩層加熱結(jié)構(gòu)，分別負(fù)責(zé)襯底和源的加熱。加熱元件為雙絲鹵鎢紅外燈管。
2. 爐膛加熱到用戶設(shè)定的時(shí)間后自動(dòng)移開，實(shí)現(xiàn)快速降溫。
3. 實(shí)驗(yàn)完成后可將放料托架打開，將石英外管移動(dòng)到左端，露出樣品可方便取放。
4. 7英寸觸摸屏操作，設(shè)定曲線實(shí)時(shí)顯示。
5. 本方案采用兩塊石墨板對樣品襯底和源進(jìn)行分別均熱，上下層熱電偶探頭分別插入石墨板內(nèi)進(jìn)行控溫，使得兩部分的溫度均勻性分別達(dá)到3℃以內(nèi)。
| 項(xiàng)目： | 參數(shù) |
| 真空： | 極限真空度≤10-3Pa(需配分子泵機(jī)組）系統(tǒng)抽真空能力（大氣到10-2Pa）≤5min |
| 真空獲?。?/td> | 采用分子泵機(jī)組真空系統(tǒng)達(dá)到≤10-3Pa，或2L直聯(lián)旋片式機(jī)械泵達(dá)到≤10Pa |
| 真空計(jì)： | 皮拉尼高精度真空計(jì)（顯示1×10-3Pa） |
| 加熱方式： | 燈管紅外加熱 |
| 溫度： | 800℃ |
| 升溫速率： | 10℃/s |
| 降溫速率： | 1、可控降溫（軟件自動(dòng)控制）；2、自然冷卻（移走加熱爐膛） |
| 溫控精度： | ≤±1℃ |
| 溫控方式： | 分區(qū)加熱，分區(qū)控溫。如圖所示，襯底加熱與源加熱分離，獨(dú)立控溫。石墨塊內(nèi)有測溫點(diǎn)，可監(jiān)控基板溫度。平臺三個(gè)部分可獨(dú)立移動(dòng)?；澹▽?shí)驗(yàn)樣品） |
| 尺寸： | 3inch×3inch |
| 溫控系統(tǒng)： | 可實(shí)現(xiàn)精確自動(dòng)控溫，10段升降溫程序，預(yù)存100條以上曲線 |
| 測溫方式： | K型熱電偶 |
| 控溫點(diǎn)： | 2個(gè)（上下石墨勻熱板） |
| 測溫點(diǎn)： | 3個(gè)臨時(shí)測溫點(diǎn)，可通過法蘭處插入到腔內(nèi)不同位置，用來檢測腔體溫度分布。 |
| 恒溫區(qū)： | 100mm（處理1片3inch×3inch基板） |
| 恒溫區(qū)爐溫均勻性： | ±3℃ |
| 溫度自動(dòng)補(bǔ)償功能： | 溫控儀增加環(huán)境溫度自動(dòng)補(bǔ)償功能 |
| 工藝氣氛： | O2,N2，干燥空氣，3路供氣（可實(shí)現(xiàn)氣氛不同比例混合） |
| 氣體控制： | O2：0~500sccm 精度：±1.0%F.S. N2：0~500sccm 精度：±1.0%F.S.干燥空氣：0~1000sccm 精度：±1.0%F.S. |
| 冷卻循環(huán)水： | 連接法蘭（8mm寶塔接頭） |
| 樣品冷卻： | 爐膛自動(dòng)移開，強(qiáng)制風(fēng)冷 |
| 額定功率： | 220V,15kw |
| 外形尺寸： | 長920×深500×高560 |
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