華翼H5160高純氣體分析儀,配備了增強型等離子體檢測器(Enhanced Plasma Detector,EPD)。EPD的原理是在檢測器的石英小池周圍加以高頻、高強度的電磁場,在高頻、高強電磁場的作用下載氣和雜質(zhì)氣體被電離為等離子體,等離子體具有較高的能量,當(dāng)樣品進(jìn)入檢測器的石英小池之后,被等離子體電離并發(fā)出不同波長的光,經(jīng)相應(yīng)的濾光片及光電二極管后轉(zhuǎn)換為電信號,因此,相比于痕量分析中常用的PDHID檢測器,EPD選擇性更好,靈敏度更高,另外,EPD可以選擇氬氣等相對低成本的載氣種類,維護(hù)成本低于PDHID。
EPD提供了更好的信噪比以及更高的電離效率,是現(xiàn)有等離子體發(fā)射檢測器(Plasma Emission Detector,PED)的升級換代版本的優(yōu)勢在于其聚焦/穩(wěn)定和電子注入電極技術(shù),以及高度穩(wěn)定的頻率控制系統(tǒng)。目前其他商品化PED存在的主要缺陷是穩(wěn)定性差,表現(xiàn)在三個方面:一是等離子體在常壓下的不穩(wěn)定性;二是等離子體石英池內(nèi)表面的電荷聚集效應(yīng);最嚴(yán)重的是石英池內(nèi)表面、尤其是放電電極附近的位置,受長時間濺射效應(yīng)的影響,會逐漸粗糙化,導(dǎo)致色譜峰的拖尾/展寬,進(jìn)而靈敏度減低,而EPD所采用的技術(shù)在上避免了上述缺陷。
穩(wěn)定技術(shù)
PED(現(xiàn)有等離子技術(shù))和EPD基線噪音的對比
雜質(zhì)種類 | H2 | O2 | N2 | CH4 | CO | CO2 | |
檢測限(ppb) | 氦載氣 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
氬載氣 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 |
譜圖樣例:
氦氣中H2、O2、N2、CH4、CO(均為1 ppm)