大口徑波長移相激光干涉儀
激光干涉儀采用相移技術(shù)準確表征被測表面的三維形貌, 測量精度 Pv 高達 0.06μm 甚至更高,廣泛用于平面光學元 件高精度檢測。
應(yīng)用
廣泛用于平面光學元件高精度檢測。
特點
--準確測量大口徑的光學元件的透射波前、反射波前。
--測量精度和測量重復(fù)性能媲美美國 Zygo 和 4D 干涉儀。
--根據(jù)客戶要求定制開發(fā)。
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主要技術(shù)指標