一、行業(yè)水質(zhì)標準:
我國電子工業(yè)部電子級水質(zhì)技術標準(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標準)、我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標準、美國半導體工業(yè)用純水指標、國內(nèi)外大規(guī)模集成電路水質(zhì)標準。
二、行業(yè)對水質(zhì)的要求:
光電材料生產(chǎn)、加工、清洗;LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏、高品質(zhì)燈管顯像管、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質(zhì)的要求也越高,這也對超純水處理工藝及產(chǎn)品的簡易性、自動化程度、生產(chǎn)的連續(xù)性、可持續(xù)性等提出了更加嚴格的要求。
三、反滲透設備工藝流程
原水箱
儲存原水,設高、低水位控制。對系統(tǒng)的給水起調(diào)節(jié)作用,防止自來水給水不足的影響,同時也可對自來水中的雜質(zhì)起一定的沉淀作用。(如水壓過低或過高引起的壓力傳感的反應)。
原水泵
提供預處理系統(tǒng)正常工作的動力源,為保持后序設備的正常運行,增加壓力。泵相應設置高過熱保護器、壓力控制器,出現(xiàn)故障自動報警。
多介質(zhì)過濾器
采用多次過濾層的過濾器,主要目的是去除原水中含有的泥沙、鐵銹、膠體物質(zhì)、懸浮物等顆粒在20um以上的物質(zhì)。而且還可以使水中的有機物質(zhì)、細菌、病毒等隨著濁度的降低而被大量去除,并為濾后消毒創(chuàng)造了良好條件。經(jīng)過砂濾器原水濁度可降低至5mg/L以下。保證設備的產(chǎn)水質(zhì)量,延長設備的使用壽命。
活性炭過濾器
利用活性碳的吸附能力有效地吸附原水中的有機物、游離性余氯、膠體、微粒、微生物、某些金屬離子及脫色等,使出水余氯含量<0.1mg/L,所以被廣泛用于生活用水及食品工業(yè)、化工、電力等工業(yè)用水的凈化、脫氯、除油和去臭等。通常,經(jīng)過活性碳過濾的水能夠去除63%-86%的膠體物質(zhì);50%左右的鐵以及47%-60%的有機物質(zhì)。
離子軟化系統(tǒng)
R/O裝置為了溶解固體形物的濃縮排放和淡水的利用,為防止?jié)馑颂貏e是RO裝置后一根膜組件濃水側出現(xiàn)CaCO3,MgCO3,MgSO4,CaSO4,BaSO4,SrSO4,SiSO4的濃度積大于其平衡溶解度常數(shù)而結晶析出,損壞膜原件的應有特性,在進入反滲透膜組件之前,應使用離子軟化裝置或投放適量的阻垢劑阻止碳酸鹽,SiO2,硫酸鹽的晶體析出.
保安過濾器
采用保安過濾器對進水中殘留的懸浮物、非曲直粒物及膠體等物質(zhì)去除,使RO系統(tǒng)等后續(xù)設備運行更安全、更可靠。濾芯為5um熔噴濾芯,目的是把上級過濾單元漏掉的大于5um的雜質(zhì)除去。防止其進入反滲透裝置損壞膜的表面,從而損壞膜的脫鹽性能。
反滲透系統(tǒng)
反滲透是一種反向遷移運動。是一種在壓力驅(qū)動下,借助于半透膜的選擇截留作用將溶液中的溶質(zhì)與溶液分開的分離方法,它已廣泛應用于各種液體的提純與濃縮,其中普遍的應用實例便函是在水處理工藝中。用反滲透技術將原水中的無機離子、細菌、病毒、有機物及膠體等雜質(zhì)去除,以獲得高質(zhì)量的純凈水。通過反滲透裝置的水,可以達到國家飲用水標準。反滲透裝置脫鹽率≥99%,水回收率≥50%
四、應用范圍:
☆半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路;
☆LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏;
☆高品質(zhì)顯像管、螢光粉生產(chǎn);
☆半導體材料、晶元材料生產(chǎn)、加工、清洗;
☆超純材料和超純化學試劑、超純化工材料;
☆實驗室和中試車間;
☆汽車、家電表面拋光處理;
☆光電產(chǎn)品;
☆其他高科技精微產(chǎn)品;