本儀器主要用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導(dǎo)電膜(金膜),儀器操作簡單方便,是配合中小型掃描電子顯微鏡制樣的儀器。
應(yīng)用領(lǐng)域:電鏡樣品制備(可濺射金、鉑、銀、銅、鋁等)
技術(shù)指標(biāo)
金靶尺寸:Ф58毫米
真空檢測:皮氏計(jì)
電壓:220V/50Hz
玻璃處理室:Ф100mm,高度130mm
試樣臺(tái)尺寸:Ф40mm可同時(shí)放6個(gè)樣品杯
真空系統(tǒng):直聯(lián)旋片真空泵2L/S
真空保護(hù):20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空
工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,配有氬氣專用進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié)