一、應(yīng)用領(lǐng)域
該設(shè)備為高真空多用途電阻蒸發(fā)鍍膜機,四對電極可單獨或同時蒸發(fā)不同的材料。設(shè)備為立式頂開蓋結(jié)構(gòu),四對電極可單獨或共蒸發(fā),樣品Φ300(max),樣品臺公自轉(zhuǎn),公轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速2-20rpm可調(diào);流量計控制氣體流量,滿足離子轟擊壓力要求。
二、性能參數(shù)
1. 鍍膜室尺寸:Φ450×500mm鐘罩
2. 鍍膜有效尺寸:Φ300mm
3. 離子轟擊功率:0.6kW
4. 恢復(fù)真空抽氣時間(min):<30
5. 蒸發(fā)源數(shù)目:4對,帶電動擋板;
6. 蒸發(fā)源功率:2kW (可選電流、電壓控制);
7. 偏壓、膜厚儀、薄膜規(guī)、樣品臺加熱可選;
8. 工藝氣體:MFC 1路;