變壓吸附制氮工藝流程架構(gòu):
1. 空氣壓縮機(jī):空氣通過空氣壓縮機(jī)進(jìn)行收集和壓縮,為氧氣發(fā)生器提供氣源。參考指標(biāo):電壓和功率。
2.四級(jí)過濾器:空氣凈化作用??梢赃^濾壓縮空氣當(dāng)中的顆粒,水,油,粉塵。過濾精度達(dá)到0.01ppm。
3.冷凍干燥機(jī):通常進(jìn)入空氣網(wǎng)的壓縮空氣都含有99%的水蒸汽。當(dāng)空氣冷卻時(shí)蒸汽便會(huì)凝結(jié),所以不僅會(huì)破壞壓縮空氣系統(tǒng),還會(huì)對(duì)最終產(chǎn)品造成損壞??諝饨?jīng)過冷凍干燥機(jī)的干燥處理,可以保證設(shè)備系統(tǒng)健康運(yùn)行。
(當(dāng)空氣露點(diǎn)≦45℃,另外選配吸附式干燥機(jī),對(duì)低露點(diǎn)氣源進(jìn)行二次處理)
4.空氣儲(chǔ)存罐:空氣經(jīng)過一定帶壓設(shè)備的處理,需要在進(jìn)入下一個(gè)組件之前,穩(wěn)定和緩沖壓力的作用。一級(jí)和二級(jí)兩只儲(chǔ)氣罐。
5.氧氣發(fā)生器:采用PSA變壓吸附工藝,通過分子篩吸附和脫附的相互交替,實(shí)現(xiàn)氧氮分離。
6.氧氣儲(chǔ)存罐:從氧氣發(fā)生器出來的合格氧氣,通過管道輸送到氧氣儲(chǔ)罐中。氧氣罐自帶安全閥,當(dāng)壓力達(dá)到一定的數(shù)值,安全閥會(huì)自動(dòng)泄放壓力,使整個(gè)系統(tǒng)處于安全的工作環(huán)境。
環(huán)保行業(yè)變壓吸附制氮機(jī)裝置流程圖示:
環(huán)境空氣經(jīng)壓縮凈化,除去油、水、塵后,進(jìn)入由兩個(gè)裝填有碳分子篩的吸附塔組成的變壓吸附裝置。壓縮空氣由下至上流經(jīng)吸附 塔,其間氧分子在碳分子篩表面吸附,氮?dú)庥晌剿隙肆鞒觯M(jìn)入粗氮緩沖罐,經(jīng)過一段時(shí)間后,吸附塔中碳分子篩被吸附的氧飽和,需進(jìn)行再生。再生是通過停止吸附步驟,降低吸附塔壓力來實(shí)現(xiàn)的。兩個(gè)吸附塔交替進(jìn)行吸附和再生,從而確保氮?dú)獾倪B續(xù)輸出。
技術(shù)指標(biāo)參數(shù):
流量:3~2000nm3/hr
純度:≥95-99.999%
壓力:0.01-0.8Mpa(以內(nèi)可調(diào))
露點(diǎn):-45℃
氧含量:≤5ppm
過濾精度:0.001ppm
型號(hào) | 流量(m3/hr) | 純度(%) | 高純度(%) | 壓力(Mpa) | 動(dòng)力來源 | 工藝 | 露點(diǎn)(℃) | 低露點(diǎn)(℃) | 產(chǎn)成品 |
XTFD-10 | 10 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | 天然空氣 | PSA 變壓吸附式 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> |
XTFD-20 | 20 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-30 | 30 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-50 | 50 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-100 | 100 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-200 | 200 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-300 | 300 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-500 | 500 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-1000 | 1000 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-1500 | 1500 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> | ||
XTFD-2000 | 2000 | ≥95 | 99.9995 | ≤0.8 | -45 | -70 | 氮?dú)?/span> |
行業(yè)應(yīng)用范圍
1、半導(dǎo)體封裝行業(yè)應(yīng)用
用氮?dú)夥庋b、燒結(jié)、退火、還原、儲(chǔ)存。宏博變壓吸附制氮機(jī)協(xié)助業(yè)類各大廠家在競爭中贏