Mitutoyo顯微鏡三豐FS70L4-TH 378-167-3
·帶目鏡觀察部的小巧顯微鏡單元
適用于金屬表面和半導(dǎo)體、液晶、樹(shù)脂等各種觀察對(duì)象。
·適用于使用YAG激光(近紅外、可見(jiàn)、近紫外、紫外)的微細(xì)加工※ ※不保證激光系統(tǒng)產(chǎn)品的性能和安全性。
半導(dǎo)體電路的切割、修整、修正、打標(biāo)、薄膜(絕緣膜)的去除和加工、液晶彩色濾光片等的修復(fù)(修正缺陷)等。
并適合作為半導(dǎo)體故障分析用探針臺(tái)的光學(xué)觀察部分。
·適用于紅外光學(xué)系統(tǒng)※
硅類的內(nèi)部觀察、紅外光譜特征分析等。※另需紅外光源和紅外攝像機(jī)等。
·推出了適用于明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光、微分干涉觀察的機(jī)型
·反射照明光學(xué)系統(tǒng)標(biāo)配帶孔徑光闌科勒照明
·通過(guò)采用內(nèi)部轉(zhuǎn)塔和長(zhǎng)工作距離物鏡,確保了在顯微鏡下的高操作性
■規(guī)格
標(biāo)準(zhǔn)目鏡規(guī)格
型號(hào)FS70Z - FS70ZD FS70L FS70L4
貨號(hào)378-165-1 - 請(qǐng)咨詢378-166-1 378-167-1
可變角度
目鏡規(guī)格
型號(hào)- FS70Z-TH FS70ZD-TH FS70L-TH FS70L4-TH
貨號(hào)- 378-165-3 請(qǐng)咨詢378-166-3 378-167-3
觀察成像明視場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光、微分干涉 /正像明視場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光/正像
目鏡(必選件) 10×(視場(chǎng)數(shù)24)、15×(視場(chǎng)數(shù)16)、20×(視場(chǎng)數(shù)12)
鏡筒
三目鏡筒
視場(chǎng)數(shù)24
可調(diào)瞳距西登托夫型,調(diào)節(jié)范圍:51~76mm
俯角0~20°(-TH),眼點(diǎn)移動(dòng)量約114mm
光路
固定式
(目鏡/TV=50%/50%)
切換式
(目鏡/管徑=99%/0%:
0%/99%)
固定式
(目鏡/TV=50%/50%)
切換式
(目鏡/管徑=99%/0%:0%/99%)
相機(jī)接口
卡口部
C-Mount(使用適配器B※1)
使用適配器B進(jìn)行齊焦調(diào)節(jié)
C-Mount規(guī)格
(齊焦調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu))
C-Mount規(guī)格
(帶綠色濾光片切換功能) (齊
焦調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu))
防護(hù)濾光片- 內(nèi)置激光濾光片
成像(鏡筒)透鏡內(nèi)置1~2×(可見(jiàn)校正)變焦
內(nèi)置1×(近紅外~可見(jiàn)~近紫
外校正) 內(nèi)置1×(可見(jiàn)、紫外校正)
激光接口
光學(xué)系統(tǒng)
-
倍率:1× 波長(zhǎng):
355/532/1064nm 倍率:1× 波長(zhǎng):266/532nm
卡口部分YAG激光振蕩器
可配備(基波、2次/3次諧波)
YAG激光振蕩器
可配備(2次、4次諧波)
聚焦
部分
粗調(diào)單軸粗微調(diào)(粗調(diào):3.8mm/圈,微調(diào):0.1mm/圈)
移動(dòng)量50mm、左右手柄
反射照明光學(xué)系統(tǒng)明視場(chǎng)落射照明(科勒照明、帶孔徑光闌)
照明裝置(選件) 12V100W光纖照明裝置(No.378-700DC)/15V150W光纖照明裝置(76-316DC)均為無(wú)級(jí)旋鈕調(diào)光式,
光導(dǎo)長(zhǎng)度=1500mm
轉(zhuǎn)塔(必選件) 調(diào)心齊焦手動(dòng)轉(zhuǎn)塔4孔
/調(diào)心電動(dòng)轉(zhuǎn)塔5孔
手動(dòng)轉(zhuǎn)塔4孔
/電動(dòng)轉(zhuǎn)塔4孔
調(diào)心齊焦手動(dòng)轉(zhuǎn)塔4孔
/調(diào)心電動(dòng)轉(zhuǎn)塔5孔
物鏡
(必選件)
觀察用
M Plan Apo
M Plan Apo HR
M Plan Apo SL
G Plan Apo
BD Plan Apo
BD Plan Apo HR
BD Plan Apo SL
M Plan Apo
M Plan Apo HR
M Plan Apo SL
G Plan Apo
激光
加工用
-
M/LCD Plan Apo NIR
M/LCD Plan Apo NUV
※根據(jù)激光振蕩器的使用波長(zhǎng)選擇
M Plan UV
鏡筒部承重※2 約14kg(-TH:約13.2kg) 約13.9kg(-TH:約13.1kg)
外觀尺寸參照P.27
主體重量6.6kg(-TH:7.4kg) 6.7kg(-TH:7.5kg)
※1:選裝。※2:不包括轉(zhuǎn)塔、物鏡、目鏡的重量。
注)使用物鏡M Plan Apo 1×?xí)r,建議搭配使用偏光裝置(No.378-092或378-094)。
注)在FS70L、FS70L4上安裝YAG激光振蕩器使用時(shí),
·請(qǐng)注意激光輸入值和能量密度等。否則可能會(huì)導(dǎo)致光學(xué)系統(tǒng)受損。