硅棒分析儀
SiBrickScan (SBS)
SiBrickScan(SBS)是一款專門用于定量分析完整硅錠中的間隙氧,生成沿硅錠縱軸的濃度分布曲線的在線系統(tǒng)。優(yōu)勢是不必切割晶圓或測試樣品的情況下獲取這類信息,可顯著節(jié)約成本。 通過獲取有價值的信息來檢查和提高產(chǎn)品質(zhì)量 了解硅錠的氧梯度能得出重要的結(jié)論,從而控制和優(yōu)化硅結(jié)晶過程,或識別劣質(zhì)原料批次。因此,SBS將通過優(yōu)化產(chǎn)品質(zhì)量和減缺陷晶圓的數(shù)量來節(jié)約成本。對錠進(jìn)行隨機抽樣也大大減少樣品制備工作,并能提前提供相關(guān)信息。 的FTIR光譜法帶來高靈敏度 SiBrickScan (SBS) 硅棒分析儀
盡管通過FTIR光譜法(ASTM/SEMI 1188)對間隙氧進(jìn)行定量分析是一個的重要分析方法,但它卻只能限制在小毫米量程的薄硅樣品范圍內(nèi)。SiBrickScan(SBS)巧妙地利用了相關(guān)的紅外泛頻吸收帶,并與可靠的布魯克FTIR技術(shù)相結(jié)合,打破了這個局限性,它是商用的完整硅錠中氧梯度專用分析系統(tǒng),無需進(jìn)行耗時且破壞性薄樣品制備,就能準(zhǔn)確測定沿主軸上的硅錠氧梯度。
無需制備薄樣品即可進(jìn)行間隙氧定量分析 SiBrickScan 能夠?qū)?nbsp;500 mm 直徑硅錠的間隙氧進(jìn)行分析。從中獲得的重要信息優(yōu)化結(jié)晶過程,并在切割之前,對單個錠進(jìn)行定量分析。 與根據(jù)ASTM/SEMI 1188相比結(jié)果一致 SBS的氧含量評估與根據(jù) ASTM/SEMI 1188 進(jìn)行定量結(jié)果一致。因此可以實現(xiàn)高精度的間隙氧含量評估。 SBS 可實現(xiàn)高檢測靈敏度 SBS可達(dá)到< 2ppma (< 1017/cm3) 的檢測極限,具體視樣品的形狀和性質(zhì)(如電阻)而定。如果您對測試性能有興趣,請聯(lián)系當(dāng)?shù)氐牟剪斂虽N售代表。應(yīng)用
適用于不同硅錠類型的專用SBS版本 SBS可用于標(biāo)準(zhǔn)的多晶或單晶方形PV錠(橫截面約為156 x 156 mm2)以及圓柱形硅錠,包括直徑在150毫米(6英寸)或200毫米(8英寸)左右。如有需求,我們也可提供適用于其他直徑和形狀的系統(tǒng)。 穩(wěn)定的設(shè)計且滿足工業(yè)兼容性 穩(wěn)定且精確的線性驅(qū)動能夠自動控制錠的測量位置:沿錠軸可達(dá)到12mm左右的間距,視配置和錠類型具體情況而定。加之安全可靠的互鎖機制,避免了操作人員觸碰活動部件的風(fēng)險。 直觀易用的軟件界面 SiBrickScan (SBS) 具有針對工業(yè)環(huán)境進(jìn)行優(yōu)化的專用的直觀式圖像用戶界面。即便是普通工人,也能在數(shù)分鐘內(nèi)學(xué)會使用其標(biāo)準(zhǔn)操作程序:僅需加載硅錠,選擇目標(biāo)分析方法,然后啟動測量即可。隨后,包括數(shù)據(jù)評估在內(nèi)的測量過程將自動運行。 創(chuàng)新的高靈敏度光路以及內(nèi)置的參考樣品 創(chuàng)新的紅外光路確保測量靈敏度。儀器內(nèi)置高質(zhì)量的參考樣品,參考測量可自動完成。 檢測器可由客戶選配 SBS 亦可配備斯特林制冷檢測器,無需液氮即可運行。用戶也可選購液氮冷卻檢測器,它包括一個液氮自動補充裝置。規(guī)格