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硅棒分析儀 SiBrickScan (SBS)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱通透光學(xué)儀器(成都)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號SiBrickScan (SBS)
  • 所  在  地成都市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2024/7/5 7:23:42
  • 訪問次數(shù)133
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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通透光學(xué)儀器(成都)有限公司,是一家致力于為客戶提供一站式實驗室解決方案的系統(tǒng)集成商,公司主要人員來自于以顯微鏡為主的光學(xué)微區(qū)形態(tài)學(xué)分析系統(tǒng),化學(xué)元素分析系統(tǒng),長度計量分析系統(tǒng),時間微區(qū)解決系統(tǒng),半導(dǎo)體綜合測試系統(tǒng)等領(lǐng)域的工程背景研發(fā)和銷售人員。 通透光學(xué)儀器(成都)有限公司擁有自研品牌 TONT INSIGHT 的顯微分析系統(tǒng),我們提供從宏觀尺度的三維激光掃描儀、亞宏觀的工業(yè)視頻內(nèi)窺鏡、元素分析光譜儀、微觀領(lǐng)域的顯微分析系統(tǒng)、超微觀領(lǐng)域掃描電鏡、納米CT,到原位微區(qū)的熒光壽命、納米力學(xué)、納米壓痕、高溫納米分析、原位光譜等多種跨學(xué)科分析系統(tǒng)。 通透光學(xué)儀器(成都)有限公司是德國布魯克分子光譜、北京中科科儀KYKY、深圳古安泰等的簽約代理商,彼此之間密切合作,共同服務(wù)于工業(yè)儀器行業(yè)的客戶。 通透光學(xué)儀器(成都)有限公司總部位于成都,在北京、上海、廣州、深圳、西安等地設(shè)立了分支機構(gòu)與代表處,建立了覆蓋全國的營銷網(wǎng)絡(luò)與技術(shù)服務(wù)中心。我們來自成都,我們堅持口碑,我們不崇洋媚外,我們不迷信品牌,我們只賣對的,不賣貴的,我們始終堅持中立的原則為您提供最合適的解決方案。我們愿意用我們的經(jīng)驗和行業(yè)儲備,為信任我們的顧客提供另一種選項,讓您始終有多種可選方案。 一幫志同道合的人,付出一輩子的時間,干好一件平凡的事!
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硅棒分析儀 SiBrickScan (SBS) 產(chǎn)品信息

硅棒分析儀

SiBrickScan (SBS)

SiBrickScan (SBS) 硅棒分析儀

SiBrickScan(SBS)是一款專門用于定量分析完整硅錠中的間隙氧,生成沿硅錠縱軸的濃度分布曲線的在線系統(tǒng)。優(yōu)勢是不必切割晶圓或測試樣品的情況下獲取這類信息,可顯著節(jié)約成本。

 

通過獲取有價值的信息來檢查和提高產(chǎn)品質(zhì)量

了解硅錠的氧梯度能得出重要的結(jié)論,從而控制和優(yōu)化硅結(jié)晶過程,或識別劣質(zhì)原料批次。因此,SBS將通過優(yōu)化產(chǎn)品質(zhì)量和減缺陷晶圓的數(shù)量來節(jié)約成本。對錠進(jìn)行隨機抽樣也大大減少樣品制備工作,并能提前提供相關(guān)信息。

的FTIR光譜法帶來高靈敏度

盡管通過FTIR光譜法(ASTM/SEMI 1188)對間隙氧進(jìn)行定量分析是一個的重要分析方法,但它卻只能限制在小毫米量程的薄硅樣品范圍內(nèi)。SiBrickScan(SBS)巧妙地利用了相關(guān)的紅外泛頻吸收帶,并與可靠的布魯克FTIR技術(shù)相結(jié)合,打破了這個局限性,它是商用的完整硅錠中氧梯度專用分析系統(tǒng),無需進(jìn)行耗時且破壞性薄樣品制備,就能準(zhǔn)確測定沿主軸上的硅錠氧梯度。

 

應(yīng)用

無需制備薄樣品即可進(jìn)行間隙氧定量分析

SiBrickScan 能夠?qū)?nbsp;500 mm 直徑硅錠的間隙氧進(jìn)行分析。從中獲得的重要信息優(yōu)化結(jié)晶過程,并在切割之前,對單個錠進(jìn)行定量分析。

與根據(jù)ASTM/SEMI 1188相比結(jié)果一致

SBS的氧含量評估與根據(jù) ASTM/SEMI 1188 進(jìn)行定量結(jié)果一致。因此可以實現(xiàn)高精度的間隙氧含量評估。

 

SBS 可實現(xiàn)高檢測靈敏度

SBS可達(dá)到< 2ppma (< 1017/cm3) 的檢測極限,具體視樣品的形狀和性質(zhì)(如電阻)而定。如果您對測試性能有興趣,請聯(lián)系當(dāng)?shù)氐牟剪斂虽N售代表。

規(guī)格

適用于不同硅錠類型的專用SBS版本

SBS可用于標(biāo)準(zhǔn)的多晶或單晶方形PV錠(橫截面約為156 x 156 mm2)以及圓柱形硅錠,包括直徑在150毫米(6英寸)或200毫米(8英寸)左右。如有需求,我們也可提供適用于其他直徑和形狀的系統(tǒng)。

穩(wěn)定的設(shè)計且滿足工業(yè)兼容性

穩(wěn)定且精確的線性驅(qū)動能夠自動控制錠的測量位置:沿錠軸可達(dá)到12mm左右的間距,視配置和錠類型具體情況而定。加之安全可靠的互鎖機制,避免了操作人員觸碰活動部件的風(fēng)險。

直觀易用的軟件界面

SiBrickScan (SBS) 具有針對工業(yè)環(huán)境進(jìn)行優(yōu)化的專用的直觀式圖像用戶界面。即便是普通工人,也能在數(shù)分鐘內(nèi)學(xué)會使用其標(biāo)準(zhǔn)操作程序:僅需加載硅錠,選擇目標(biāo)分析方法,然后啟動測量即可。隨后,包括數(shù)據(jù)評估在內(nèi)的測量過程將自動運行。

創(chuàng)新的高靈敏度光路以及內(nèi)置的參考樣品

創(chuàng)新的紅外光路確保測量靈敏度。儀器內(nèi)置高質(zhì)量的參考樣品,參考測量可自動完成。

檢測器可由客戶選配

SBS 亦可配備斯特林制冷檢測器,無需液氮即可運行。用戶也可選購液氮冷卻檢測器,它包括一個液氮自動補充裝置。


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