低真空CVD系統(tǒng)（型號：BTF-1200C-CVD）

氣路系統(tǒng)參數(shù)

質量流量計參考量程（N₂)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可選）

準確度：±1.5%

線性：±0.5～1.5%

重復精度：±0.2%

響應時間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

Z大壓力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

顯示：4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體

內外雙拋不銹鋼管：Φ6

壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥：Φ6

連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。

可選配一路、兩路、三路、四路等以上質量流量計。

低真空系統(tǒng)參數(shù)

國產油泵型號：BSV-10

抽速：10m3/h

極限真空度：5*10^-1pa

電源：220v 50hz

電機功率：0.4kw

進排氣連接口：KF25

用油量：1.1L

電機轉速：1440rpm

工作環(huán)境溫度：5-40℃

噪音：≤56db

電阻真空計參數(shù)：

1.配用規(guī)管：ZJ-52T電阻規(guī)，

2.測量范圍： 10 ⁵ ～10 ^-1 Pa，

3.測量路數(shù)： 1路

4.控制范圍： 5×10 ³ ～5×10 ^-1 Pa，

5.控制方式：繼電器觸點輸出，負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載，

6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

7.功耗： 20W

高真空系統(tǒng)參數(shù)

空氣相對濕度：≤85%

工作電壓：AC220V±10% 50/60HZ

功率：1KW

系統(tǒng)整體極限真空度：10-5Pa

實驗真空度：10-3Pa

機械泵:

抽氣速率：10m3/h

容油量：1.1L

電機功率：0.4KW

極限壓強：6×10^-2Pa

分子泵:

抽氣速率：100L/S

極限壓強：6×10^-6Pa

啟動時間：＜2min

額定轉速：4300轉/分

冷卻方式：環(huán)境溫度5-32℃時，風冷；5-40℃時，水冷。

分子泵控制器:

電壓：220V±22V

啟動電流：≤7A

輸入頻率：47HZ—63HZ

Z大輸出功率：≤150W

Z大加速電壓：≤40V

加速時間：≤3min

頻率（雙速）：高速705HZ±10HZ

低速430HZ±5HZ

復合真空計:

測量路數(shù)：2路（電阻規(guī)、電離規(guī)各1路）

工作模式：手動/自動

電阻單元參數(shù)

規(guī)管型號：ZJ-52T電阻規(guī)

測量范圍：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

有效范圍：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

控制范圍：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

電離單元參數(shù)

規(guī)管型號：ZJ-27電離規(guī)

可測范圍：5.0Pa~1.0×10-5Pa

有效范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa

控制范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa

規(guī)管除氣方式：焦耳去氣

其他參數(shù)

控制路數(shù)：4路

控制方式：點動或區(qū)域控制/帶掉電記憶

控制精度：±1%

采樣時間：1S

電源：220V±10% 50HZ

功耗：50W

使用環(huán)境溫度：0℃~45℃

濕度：≤85%

連接管路:采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優(yōu)于1.0×10^-9Pa.m³/s

備注：

根據(jù)工藝要求可選配低真空或高真空系統(tǒng)。