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小型滑軌式PECVD系統(tǒng)BTF-1200C-S-SL-PECVD

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱重慶開衡科技有限公司
品牌
型號
所在地重慶市
廠商性質(zhì)其他
更新時間2024/7/23 12:09:47
訪問次數(shù)105

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公司介紹主營產(chǎn)品

重慶開衡科技有限公司成立于2011年，是由一批有著高等學(xué)歷、優(yōu)良品質(zhì)、豐富經(jīng)驗的專業(yè)人士組建的一家客戶驅(qū)動型企業(yè)。公司自成立以來，不斷拓寬資源渠道，完善產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，積累專家智庫，提高本地化服務(wù)水平。致力打造科學(xué)研究、分析檢測相關(guān)實驗室設(shè)備和消耗品“一站式”采購平臺，幫助客戶建設(shè)一個完備可靠的實驗室。一個渠道，無限解決方案。開衡科技提供所有實驗室儀器和設(shè)備的支持和供應(yīng)管理，不限生產(chǎn)廠家，憑借我們專業(yè)技術(shù)和服務(wù)能力，幫助客戶用更少資源和更低成本提高生產(chǎn)力。我們的產(chǎn)品包括：天平、箱類控溫系統(tǒng)、離心機、加壓電泳液相色譜、離子色譜、水質(zhì)檢測儀器、樣品低溫存儲設(shè)備、細(xì)胞培養(yǎng)設(shè)備、樣品離心及濃縮處理系統(tǒng)、微孔板分析儀器、實驗室純水、恒溫產(chǎn)品、質(zhì)量控制檢測設(shè)備、自動化設(shè)備、移液器，以及實驗室塑料制品和玻璃器皿、色譜柱、訂制實驗室家具等等。開衡科技以豐富的選擇，便捷的網(wǎng)絡(luò)，迅速有效的售后服務(wù)，為重慶地區(qū)各大專院校、科研院所、工業(yè)單位，涉及制藥、環(huán)監(jiān)、食品、農(nóng)業(yè)、醫(yī)學(xué)、化工、石化、材料、電子等行業(yè)的科技工作者提供服務(wù)和支持。多年實干，公司在用戶中已贏得廣泛贊譽，并成為重慶地區(qū)科學(xué)儀器行業(yè)內(nèi)受尊敬的供應(yīng)商之一。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

主要特點微型滑軌式PECVD系統(tǒng)，電源范圍寬：0-100W可調(diào)；溫度范圍寬：100-1200度可調(diào)；濺射區(qū)域?qū)挘赫芸烧{(diào)；其精致小巧，性價比，滑軌式設(shè)計使用滑軌爐實現(xiàn)快速升溫和降溫，是實驗室生長薄膜石墨烯，金屬薄膜，陶瓷薄膜，復(fù)合薄膜等的理想選擇，也可作為擴(kuò)展等離子清洗刻蝕使用

小型滑軌式PECVD系統(tǒng)BTF-1200C-S-SL-PECVD 產(chǎn)品信息

主要特點

微型滑軌式PECVD系統(tǒng)，電源范圍寬：0-100W可調(diào)；溫度范圍寬：100-1200度可調(diào)；濺射區(qū)域?qū)挘赫芸烧{(diào)；其精致小巧，性價比，滑軌式設(shè)計使用滑軌爐實現(xiàn)快速升溫和降溫，是實驗室生長薄膜石墨烯，金屬薄膜，陶瓷薄膜，復(fù)合薄膜等的理想選擇，也可作為擴(kuò)展等離子清洗刻蝕使用。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號：	BTF-1200C-S-SL-PECVD
實驗機理：	PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm³電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。通過反應(yīng)氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點，工藝流程簡單。
技術(shù)參數(shù)：	開啟式真空管式滑軌爐反應(yīng)腔體尺寸：Φ25、Φ50x1200mm 加熱元件：電阻絲（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo）加熱區(qū)長度：230mm 恒溫區(qū)長度：100mm（±1℃）工作溫度：1100℃ Z高溫度：1200℃ 控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能控溫精度：±1℃ 升溫速率：10℃/min 爐門結(jié)構(gòu)：開啟式工作電源：AC220V /50HZ 額定功率：2.5KW
	真空泵和閥門采用KF25系列波紋管和手動擋板閥；真空度可達(dá)10^-3torr；數(shù)顯真空測試儀可直觀的顯示數(shù)值。
	質(zhì)量流量計控制氣路系統(tǒng)（可來圖訂制）內(nèi)部裝有高精度質(zhì)量流量計可準(zhǔn)確的控制氣體流量；氣體流量范圍可選，誤差為±1.5%；一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥；不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動控制混合氣體輸入。
	射頻電源與匹配器電源：單相50/60Hz 220v±10% 加熱（功率）電源：2.5KW，25A 控制柜電源空氣開關(guān)：32A空氣開關(guān) 薄膜生長室溫度：室溫~ 1200℃ 信號頻率：13.56 MHz±0.005% 射頻功率輸出范圍：0~100W
外型尺寸：	爐體：550×380×600mm 爐體加滑軌1500x380x620mm 供氣及真空系統(tǒng)：600×600×600mm
凈重：	100Kg
認(rèn)證和	CE認(rèn)證號：ZL.0 （產(chǎn)品，防偽必究）