DR系列羅茨泵真空泵是一款技術(shù)成熟的真空獲得設(shè)備,與前級(jí)泵配合組成后,擴(kuò)展了前級(jí)真空泵在較低入口壓力下的工作范圍,可應(yīng)用于廣泛的工業(yè)用途。
●提高真空度
按照一般經(jīng)驗(yàn),在配置羅茨真空泵后,系統(tǒng)真空度可提高1個(gè)數(shù)量級(jí),如配備兩級(jí)羅茨泵,系統(tǒng)真空度可進(jìn)一步提高。
●增大抽速
羅茨泵的一對(duì)轉(zhuǎn)子在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)沒有相互接觸,因此可以高速運(yùn)轉(zhuǎn),幾何尺寸較小的羅茨泵也能達(dá)到較高的抽速。通過選擇合適的前級(jí)泵與羅茨泵組合,可使小抽速的前級(jí)泵實(shí)現(xiàn)抽除大量氣體,相比相同抽速的單一前級(jí)泵,可明顯降低能耗。
●無油運(yùn)行
羅茨泵的泵腔內(nèi)無油,因此抽送介質(zhì)不會(huì)被污染。
特性
因?yàn)閭鲃?dòng)結(jié)構(gòu)采用了柔性的液力裝置-一種高效的動(dòng)力傳動(dòng)方式,DR系列羅茨真空泵擁有緊湊的結(jié)構(gòu)以及如下的特性:
●真空系統(tǒng)可以在減少配置旁路管道及閥門或者省略變頻器的設(shè)計(jì)條件下,獲得遠(yuǎn)超傳統(tǒng)增壓泵的整體抽速效果,硬件成本節(jié)約顯著,控制要求明顯降低;
●液力傳動(dòng)結(jié)構(gòu)可以自動(dòng)調(diào)整泵的轉(zhuǎn)速,即使泵在高壓下工作,電機(jī)也不會(huì)過載或過熱;
●相比傳統(tǒng)的直聯(lián)傳動(dòng),即使在入口壓力驟變或者吸入異物時(shí),泵業(yè)不會(huì)損壞,停機(jī)故障率可大大降低;
●DR系列羅茨真空泵可以與前級(jí)泵同時(shí)在大氣壓下啟動(dòng)而不會(huì)使電機(jī)過載,因此可以更早的作用于整個(gè)抽空過程,從而明顯縮短抽空時(shí)間,特別適用于需要快速抽空的場(chǎng)合;
●非常安靜平穩(wěn)的運(yùn)行,極微小的振動(dòng);
●可靠的軸封結(jié)構(gòu)可以確保潤(rùn)滑液不會(huì)進(jìn)入泵腔內(nèi);
●因?yàn)闊o需旁通管路和閥門等,泵的維護(hù)也相當(dāng)簡(jiǎn)單。
羅茨泵技術(shù)參數(shù)
說明:
德耐爾對(duì)產(chǎn)品不斷改進(jìn),保有設(shè)計(jì)變更權(quán),如有更改,恕不另行通知
應(yīng)用領(lǐng)域
工業(yè):醫(yī)療技術(shù)、工業(yè)檢漏、電子束焊接、真空隔離、燈具燈管制造、熱處理、真空干燥,凍干、真空爐,冶金工程。
研發(fā):核子研究、融化技術(shù)、等離子體研究、粒子加速器、空間模擬、低溫研究、基本粒子物理、納米技術(shù)、生物技術(shù)。
涂層、鍍膜:平板顯示器、LED/OLED、硬盤涂層、光伏電池、玻璃鍍層、CD-DVD-藍(lán)光、光學(xué)鍍膜、耐磨涂層。
半導(dǎo)體:光刻,平面印刷、物理氣相沉積PVD、化學(xué)氣相沉積CVD、等離子刻蝕、離子注入、光束注入、檢視、粘合、分子束外延。