電子工業(yè)高純水設(shè)備
電子工業(yè)高純水設(shè)備中,生產(chǎn)單晶硅半導(dǎo)體材料、二極管、三極管、集成電路、光、硬盤、顯象管時,都需要達(dá)到電子級標(biāo)準(zhǔn)的工藝用水,在我國,電子級水共分五個級別,部分指標(biāo)如下:
指標(biāo) 級別 | EW-Ⅰ | EW-Ⅱ | EW-Ⅲ | EW-Ⅳ | EW-Ⅴ |
電阻率 MΩ.cm(25℃) | 18 90%時間zui小17 | 15 90%時間zui小12 | 10 90%時間zui小8 | ≥2 | ≥0.5 |
大于1μm微粒數(shù),大值,個/ml | 1 | 5 | 10 | 100 | 500 |
大于0.5μm微粒數(shù),大值,個/m | 100 | 300 | 500 | 1000 | 2000 |
細(xì)菌個數(shù),大值,個/ ml | 1 | 5 | 10 | 50 | 100 |
總有機(jī)碳含量,大值 | 50 | 100 | 200 | 1000 | 5000 |
二氧化硅總含量,大值 | 2 | 20 | 50 | 100 | 1000 |
電子級水基本制水流程如下:
原水 預(yù)處理 反滲透 混床 UV MF
我司從事高純水、超純水設(shè)備的生產(chǎn)有多年歷史,可按用戶的需求提供達(dá)到電子級別用水的生產(chǎn)線。
電子工業(yè)高純水設(shè)備