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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

1972 年由瓦里安公司首先在氦質(zhì)譜檢漏儀的設(shè)計(jì)中提出了逆流式的概念，使得目前全...

安捷倫氦質(zhì)譜檢漏儀

1972 年由瓦里安公司首先在氦質(zhì)譜檢漏儀的設(shè)計(jì)中提出了逆流式的概念，使得目前的氦質(zhì)譜檢漏儀全部采用逆流式的方法進(jìn)行檢漏。

瓦里安的發(fā)明之一，優(yōu)點(diǎn)在于：

·極大的排氣量

·前級(jí)耐壓高達(dá) 18mbar

·壓縮比提高了幾個(gè)數(shù)量級(jí)卻絲毫不增加泵的體積和重量，對(duì)質(zhì)量輕的氣體更為顯著。

VＳ系列氦質(zhì)譜檢漏儀

特性及優(yōu)點(diǎn)

·多種語言和計(jì)量單位選擇，可選中文界面

·135o電離偏轉(zhuǎn)(自然聚焦點(diǎn))的全新質(zhì)譜技術(shù)，金屬密封結(jié)構(gòu)

·新的電子線路及信號(hào)處理設(shè)計(jì)

·最小可檢漏率高、靈敏度覆蓋范圍可達(dá)12個(gè)量程

·快速清氦和快速響應(yīng)

·測(cè)試口耐壓高，可實(shí)現(xiàn)大漏檢漏

VS系列氦質(zhì)譜檢漏儀參數(shù)表

性能指標(biāo)	PR02	MR15&MD30
性能	前級(jí)泵內(nèi)置式	前級(jí)泵外置式及小車
前級(jí)泵油式機(jī)械泵	DS-42 2 m³/hr (34 l/m)	DS-302 14 m³/hr (232 l/m)
渦卷式干泵	N/A	TS-620 30 m³/hr (500 l/m)
最小可檢漏率在1000ppm的氦氣背景下	5×10^-12atm cc/sec； 5×10^-12mbar l/s；5×10^-13Pa m³/sec helium
測(cè)試口耐壓	16 mbar，12 Torr，1600 Pa
測(cè)試口處對(duì)氦氣抽速	1.8 l/s
校準(zhǔn)程序	自動(dòng)或手動(dòng)（內(nèi)置或外置）
氦本底清零	按鍵清零，并具有零點(diǎn)追蹤功能
操作界面	高清晰彩顯，TFT觸摸屏
語言選擇	中文/英語/法語/德語/日語/韓語/西班牙語
循環(huán)檢測(cè)	可編程粗抽時(shí)間/測(cè)試時(shí)間，設(shè)置報(bào)廢點(diǎn)
響應(yīng)時(shí)間	＜1.0秒
設(shè)定點(diǎn)	標(biāo)準(zhǔn)；5個(gè)設(shè)定點(diǎn)；常開或常閉；3個(gè)漏率點(diǎn)；1個(gè)壓強(qiáng)點(diǎn)；1個(gè)聲訊點(diǎn)
通訊協(xié)議	RS-232通訊借口，9600波特率（9芯竄口）
執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)	UL，CE，CSA