四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀

在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體

優(yōu)化工藝過(guò)程參數(shù)，提高鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量

對(duì)真空系統(tǒng)檢漏

減少停機(jī)時(shí)間，提高流片量

價(jià)格低廉，極為優(yōu)異的性價(jià)比

濺射工藝在線質(zhì)譜分析儀
SPM-MC濺射工藝在線質(zhì)譜分析儀是專(zhuān)為鍍膜生產(chǎn)等工業(yè)應(yīng)用開(kāi)發(fā)在線濺射工藝四極質(zhì)譜分析儀。分析室采用超高真空金屬密封和無(wú)油超高真空分子泵抽氣系統(tǒng)，真空系統(tǒng)控制采用單按鈕式，全量程自動(dòng)監(jiān)測(cè)并開(kāi)啟四極質(zhì)譜。取樣系統(tǒng)采用不銹鋼波紋管及手動(dòng)閥門(mén)，直接接入工藝真空室采樣。分析器采用抗氧化敷釷銥絲雙燈絲和法拉第接收杯四極質(zhì)譜，通過(guò)RS232接入筆記本電腦，由專(zhuān)用的控制軟件分析，完成對(duì)濺射工藝真空室的分壓測(cè)量和成份分析:掃描全譜，趨勢(shì)分析，檢漏等。

規(guī)格：
測(cè)量氣體范圍
XT100（M）             1到100 amu
XT200（M）             1到200 amu
XT300（M）             1到300 amu

檢測(cè)類(lèi)型                    法拉第杯（FC）或電子倍增器（EM）
靈敏度（A/mbar）   5×10-4torr，法拉第杯，氮28, 10%峰高
分辨率                       1 amu ，10%峰高
最小可檢分壓強(qiáng)         10-11  torr或10-14 torr（電子倍增   
                                  器），氮28，10%峰高
工作范圍                    10-4  torr到超高真空
工作環(huán)境溫度      40°C
烘烤溫度                    300°C（不包括CCU）
通訊端口                    RS-232C，115,200 Baud
軟件運(yùn)行環(huán)境             Windows® 2000或XP