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詳細介紹
型號項目 | LDMG-1.1 | LDMG-1.35 | LDMG-1.65 |
| 極限真空度 Pa | 上室≤1.3×10-1 下室≤7.0×10-3 | ||
| 工作真空度 Pa | 上室≤7.0×10-1 下室≤6.7×10-2 | ||
| 幅寬 mm | 1100 | 1350 | 1650 |
| 卷徑 mm | Φ850 | ||
| 蒸發(fā)坩堝 只 | 6 | 8 | 10 |
| 坩堝尺寸 mm | Φ110×100 | ||
| 卷繞基材 | PET | ||
| 卷繞速度 m/min | 0～800 | ||
| 鍍膜速度 m/min | 100～720 | ||
| 普冷機組 臺 | 1 | ||
| 深冷機組 臺 | 1 | ||
| 跑偏量 mm | ≤±2 | ||
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