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詳細介紹
型號項目 | LDMYS-1.1 | LDMYS-1.35 |
| 極限真空度 Pa | 上室≤1.3×10-1 下室≤7.0×10-3 | |
| 工作真空度 Pa | 上室≤7.0×10-1 下室≤6.7×10-2 | |
| 幅寬 mm | 1100 | 1350 |
| 卷徑 Pa/h | Φ850 | |
| 蒸發(fā)舟數量 只 | 22 | 24 |
| 蒸發(fā)舟材料 | Mo | |
| 卷繞基材 | PET | |
| 鍍膜材料 | 硫化鋅/氧化硅等（ZnS/SiO2） | |
| 卷繞速度 m/min | 0～800 | |
| 鍍膜速度 m/min | 60～500 | |
| 普冷機組 臺 | 1 | |
| 深冷機組 臺 | 1 | |
| 跑偏量 mm | ≤±2 | |
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