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ZZD電阻蒸發(fā)鍍膜系列

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更新時(shí)間：2021-08-30 10:53:04瀏覽次數(shù)：528

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ZZD電阻蒸發(fā)鍍膜系列

詳細(xì)介紹

型號(hào)項(xiàng)目
ZZD-1000
ZZD-1400
ZZD-1600
ZZD-2050
真空室規(guī)格　　　mm
Φ1000×1500
Φ1400×1900
Φ1600×2100
Φ2050×2900
極限壓力　　　　Pa
1×10-3
工作壓力　　　　Pa
2×10-2
恢復(fù)真空時(shí)間　　min
≤10 （從大氣至2×10-2Pa）
壓升率　　　　　Pa/h
≤0.3
離子轟擊源　　　KVA
4
4
12
20
蒸發(fā)源Ⅰ　　　　KVA
15
20
25
40
蒸發(fā)源Ⅱ　　　　KVA
15
20
27/18
45
蒸鍍材料
Al和SiO2/MgO2
工件轉(zhuǎn)動(dòng)方式
公轉(zhuǎn)加自轉(zhuǎn)（無(wú)級(jí)調(diào)速）
工件自轉(zhuǎn)軸數(shù)
6
10
控制方式
PLC
PLC/PLC+計(jì)算機(jī)
冷卻水量　　　　m3/h
5
5
7
9
總功率　 KW　　　　　
～60
～85
～120
～200

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