詳細(xì)介紹
001,002和003A 型質(zhì)量流量控制閥門(mén)都是常閉的比例控制閥門(mén),可應(yīng)用在從 0-5sccm 到 0-500 slpm 氮?dú)饬砍讨?。?dāng)它與質(zhì)量流量計(jì)結(jié)合使用時(shí),就可構(gòu)成一個(gè)閉合回路控制系統(tǒng) , 該系統(tǒng)允許單獨(dú)組件配置(流量計(jì)和控制閥門(mén))。
技術(shù)參數(shù)
流量范圍:從 0-5SCCM 到 0-500SLPM
環(huán)境和操作溫度 :-10 ~ 70 ℃( 14 ~ 158 ℉)
操作壓力:1000PSIG ( 6.9 MPa ) ,具體請(qǐng)參考表一
安裝方向:對(duì)位置不敏感
額定工作電壓:4-11VDC ( 24VDC )
額定工作電流:150mADC ( 275 mADC )
閥線圈電阻:80 ± 4 Ω( 001型和003A型) ; 63 ± 3 Ω( 002型)
結(jié)構(gòu)材質(zhì)
主體:316 不銹鋼
孔:316 不銹鋼
閥組件(接液):001 型: 302SS , 316SS , 430FSS , Sandvik?1802
002 型:302SS , 316SS , Sandvik1802
003A 型:302SS , 316SS , 430FSS , Sandvik1802
密封材質(zhì):001 型: Buna N , EPDM , Kalrez , Neoprene , Viton
002 型:Buna N , EPDM , Kalrez , Neoprene , Viton
003A 型:Buna N , Viton
* 注:上述流量范圍反映的是氮?dú)鈽?biāo)定下產(chǎn)生的最小流量和流量,可采用其它介質(zhì)的流量范圍,當(dāng)操作參數(shù)有疑問(wèn)時(shí)為了保證選型,請(qǐng)咨詢廠家。
技術(shù)參數(shù)
流量范圍:從 0-5SCCM 到 0-500SLPM
環(huán)境和操作溫度 :-10 ~ 70 ℃( 14 ~ 158 ℉)
操作壓力:1000PSIG ( 6.9 MPa ) ,具體請(qǐng)參考表一
安裝方向:對(duì)位置不敏感
額定工作電壓:4-11VDC ( 24VDC )
額定工作電流:150mADC ( 275 mADC )
閥線圈電阻:80 ± 4 Ω( 001型和003A型) ; 63 ± 3 Ω( 002型)
結(jié)構(gòu)材質(zhì)
主體:316 不銹鋼
孔:316 不銹鋼
閥組件(接液):001 型: 302SS , 316SS , 430FSS , Sandvik?1802
002 型:302SS , 316SS , Sandvik1802
003A 型:302SS , 316SS , 430FSS , Sandvik1802
密封材質(zhì):001 型: Buna N , EPDM , Kalrez , Neoprene , Viton
002 型:Buna N , EPDM , Kalrez , Neoprene , Viton
003A 型:Buna N , Viton
* 注:上述流量范圍反映的是氮?dú)鈽?biāo)定下產(chǎn)生的最小流量和流量,可采用其它介質(zhì)的流量范圍,當(dāng)操作參數(shù)有疑問(wèn)時(shí)為了保證選型,請(qǐng)咨詢廠家。