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詳細(xì)摘要： 詳細(xì)說明生產(chǎn)的系列熱工設(shè)備：全功能微控擴(kuò)散系統(tǒng)【產(chǎn)品簡介】該系統(tǒng)式生產(chǎn)半導(dǎo)體器件和大規(guī)模集成電路的重要工藝設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件的擴(kuò)散、氧化、退火、燒結(jié)等工...