詳細介紹
產品介紹:
“的SEM更為緊湊"
寬幅僅為45 cm的緊湊型的設計,仍具備4.0 nm的圖像分辨率。
全新開發(fā)的用戶界面和電子光學系統(tǒng)讓您深切體驗其高性能。
產品特點:
FlexSEM 1000 II,憑借全新設計的電子光學系統(tǒng)和高靈敏度檢測器,可在加速電壓20 kV下實現4.0 nm的分辨率。全新開發(fā)的用戶界面,具有亮度和對焦自動調節(jié)功能,可以在短時間內進行各種觀察。此外,還搭載了全新的導航功能“SEM MAP",這個功能可彌補電子顯微鏡上難以找準視野的缺點,實現最直觀的視野移動。
1、盡管是可放置在桌面上的小巧緊湊型*1電子顯微鏡,仍可實現4.0 nm的分辨率
2、憑借的高靈敏度二次電子、背散射電子檢測器、低真空檢測器(UVD*2),可在低加速/低真空下觀察時實現的畫質
3、全新的用戶界面,無論用戶的熟練程度如何,都可實現高畫質和高處理能力
4、全新的定位功能“SEM MAP",支持觀察時的視野搜索和樣品定位
5、大直徑(30毫米2)無氮EDS檢測器,可快速進行元素分析*2
*1 設置到桌面上時,請將機體與電源盒分離
*2 選項
小型高性能色譜柱
尺寸雖小,卻具備同類產品中的分辨率。
高畫質
配備可優(yōu)化放射電流的功能,以便在較低的加速電壓下也能獲得足夠的亮度,而獲得噪點小且清晰的圖像。
可用高畫質和快速觀察
搭載GUI和自動調節(jié)功能,讓初學者也能得心應手。只要按一下自動對焦(AFC)、自動亮度調節(jié)(ABCC)按鈕,就可以獲得的圖像。(自動調節(jié):與以往相比,縮短時間約13秒*3)當然,也可以通過觸屏進行操作。
*3 對比日立SEM SU1510
全新定位系統(tǒng)“SEM MAP"
SEM MAP"功能可有效實現觀察時的視野搜索和樣品定位。根據內置攝像頭所拍攝的圖像,定位樣品,一鍵點擊即可移動到觀察部位。
在SEM MAP上導入的圖像會自動進行粘貼,并以分布圖的形式顯示。
可放置在桌面上的緊湊型電子顯微鏡
寬幅僅為45厘米,緊湊型設計,地減小占用空間。機體僅支持AC100 V 3P電源插座。此外,機體和電源盒可以分離,從而大幅度提升諸如桌面設置等的布局靈活性。
產品規(guī)格:
項目 | 內容 |
分辨率*3 | 4.0nm(二次電子像、加速電壓:20kV、高真空模式) |
15.0nm(二次電子像、加速電壓:1kV、高真空模式) | |
5.0nm(背散射電子像、加速電壓:20kV、低真空模式) | |
加速電壓 | 0.3kV~20kV |
倍率 | ×6~×300,000(照片倍率) |
×16~×800,000(顯示器顯示倍率) | |
低真空設置 | 6~100 Pa |
電子槍 | 集中燈箱(Pre-Centered Cartridge Filament) |
樣品臺 | 3軸馬達驅動樣品臺 |
X:0~50 mm、Y:0~40 mm、Z:5~15 mm | |
T:-15~90°、R:360° | |
可觀察范圍:直徑64mm(R聯(lián)用)*4 | |
樣品尺寸 | 直徑80mm(選配:直徑153mm) |
樣品高度 | 40mm |
尺寸 | 機體:450(寬度)×640(進深)×690(高度)mm |
電源盒:450(寬度)×640(進深)×450(高度)mm | |
選項 | 高敏感度低真空檢測器(UVD2.0) |
能量色散型X射線檢測器(EDS) | |
軟件 | Multi Zigzag(連續(xù)視野圖像導入功能) |
* PC、桌子、監(jiān)控器由客戶準備
*3 機體和電源盒連接時候
*4 使用標準支架時
觀察示例
半導體
焊線
材料
二硫化鎢
FlexSEM 1000 II采用新型偏壓系統(tǒng),可在低加速電壓下獲得高放射電流。從而,在低加速電壓下也能實現同類產品中的圖像清晰度(S/N)。
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