日立SFT-110型X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x

日立（SEA1000AII、EA1000AIII、EA1000VX、EA1200VX、EA1300VX、EA6000VX、SFT-110、FT-110、FT9355、FT9550、SFT9500X、SFT9550X）SFT-110系列產(chǎn)品,搭載了高性能X射線管，實(shí)現(xiàn)了高精度的測(cè)定。SFT-110極微小準(zhǔn)直管和可變焦距光學(xué)系統(tǒng)的組合，實(shí)現(xiàn)了對(duì)極微小部分的測(cè)定。對(duì)有段差的樣品也適用。

1．SFT-110搭載了50W高性能X射線管。
2．SFT-110搭載標(biāo)準(zhǔn)的Φ50μm微小準(zhǔn)直管（zui小Φ15μm）。
3．容易對(duì)微小領(lǐng)域進(jìn)行觀察。SFT-110搭載了能4階段切換的可變焦距光學(xué)系統(tǒng)。
4．依據(jù)照明能很容易對(duì)以前觀察困難的樣品進(jìn)行觀察。
5．SFT-110搭載了防止有凹凸的樣品碰撞的傳感器。
6．搭載了焦點(diǎn)切換功能，F(xiàn)T-110能夠?qū)τ懈叨鹊臉悠返牡筒糠诌M(jìn)行測(cè)定。
7．SFT-110利用伺服馬達(dá)精確的驅(qū)動(dòng)平臺(tái)。
7．SFT-110運(yùn)用激光聚焦功能簡(jiǎn)單實(shí)現(xiàn)位置的調(diào)整。