雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

硫粉預(yù)熱器

型號：BTF-400C

工作溫度：350℃

zui高溫度：400℃

zui快升溫速率：30℃/min

*升溫速率：10℃/min

控溫方式：智能化30段可編程控制

工作電壓：AC220 V

額定功率：800W

控溫精度：±1℃

加熱元件：電阻絲

硫化爐

技術(shù)參數(shù)：                                                  

額定功率(KW):3

額定電壓(V):AC220v  50/60 Hz

zui高溫度(℃):1200（1 hour）

持續(xù)工作溫度(℃）：1100

升溫速率（℃/min）：≤50

爐管尺寸（mm）：

高純石英管Φ50×1200mm

加熱區(qū)長度（mm）：440mm

恒溫區(qū)長度（mm）:200mm  

控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能

控溫精度(℃):±1

加熱元件:電阻絲

 供氣系統(tǒng)（GMF-3Z） 

重量：35Kg                                            

外形尺寸：600x600x650mm

連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。

標(biāo)準(zhǔn)量程（N2)：100sccm、200sccm （可根據(jù)用戶要求定制）

準(zhǔn)確度：±1.5%

線性：±0.5～1.5%

重復(fù)精度：±0.2%

響應(yīng)時間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

zui大壓力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

顯示：4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體             

內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6

壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 

截止閥：Φ6

低真空機組（VAU-02）                 

技術(shù)參數(shù)：

空氣相對濕度≤85%，

工作電電壓：220V±10%  50~60HZ 

功率：1千瓦

抽氣速率：4L\s

極限真空：4X10-2Pa

實驗真空度：1.0X10-1Pa

容油量：1.1L

進氣口口徑：KF25

排氣口口徑：KF25

轉(zhuǎn)速：1450rpm

噪音：50dB

外型尺寸:600×600×600mm

射頻電源

信號頻率：13.56MHz±-0.005%

射頻功率輸出范圍：5W-500W

zui大反射功率：200W

射頻輸出接口：50Ω。N-type,female

功率穩(wěn)定度：±0.1%

諧波分量：≤-50dbc

供電電壓：單相50/60Hz 220v±10%

整機效率：>=70%

功率因素：>=90%

冷卻方式：強制風(fēng)冷