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PENNINGVAC 變送器 真空計 PTR 90 N

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產(chǎn)品型號

品       牌

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所  在  地無錫市

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更新時間:2024-09-12 07:18:17瀏覽次數(shù):149次

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產(chǎn)品簡介

說明nbsp;nbsp;PTR 90 N PENNINGVAC 系列真空變送器可提供從nbsp;1×10-8nbsp;毫巴到nbsp;1000 毫巴的較大測量范圍,基于對nbsp;MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性和冷陰極nbsp;(CC) 電離電流的測量結(jié)果。nbsp;nbsp;nbsp;配備nbsp;RS232 數(shù)字通信接口nbsp;(P/N: 230088V02) 或n......

詳細(xì)介紹

說明

PTR 90 N PENNINGVAC 系列真空變送器可提供從 1×10-8 毫巴到 1000 毫巴的較大測量范圍,基于對 MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性和冷陰極 (CC) 電離電流的測量結(jié)果。

配備 RS232 數(shù)字通信接口 (P/N: 230088V02) EtherCAT 數(shù)字通信接口 (P/N: 230089V02) 的變送器版本可設(shè)置變送器參數(shù),并可提供實時壓力測量結(jié)果。更多詳情,請參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232) 300544664 (EtherCAT)。配備集成式觸屏顯示器 (P/N: 2300085V02) 的變送器版本能夠監(jiān)控基本的變送器參數(shù)。更多詳情,請參閱第 6.4 章。

每臺變送器在出廠前已逐臺進(jìn)行全量程測試。測試報告隨附在包裝中。此外,每個變送器壓力讀數(shù)均在操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補(bǔ)償。

這些變送器用途廣泛,可用作獨立裝置,或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) Display 控制器 (P/N: 230001、230024230025)。所有 PENNINGVAC 變送器均可向下兼容 GraphixDisplay Center 控制器。

變送器擁有多達(dá)三個機(jī)械繼電器,這些繼電器可用于過程控制,例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設(shè)備,獲取壓力讀數(shù),或進(jìn)行壓力控制。

傳感器技術(shù)

變送器含有兩個獨立的傳感器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機(jī)械系統(tǒng))) 傳感器元件基于熱傳導(dǎo)性的測量結(jié)果。MEMS Pirani 傳感器包含一個帶有熱電阻元件的硅芯片,其構(gòu)成空腔的一個表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀,空腔內(nèi)無法進(jìn)行對流,因此,傳感器對安裝位置并不敏感。通過擴(kuò)散,氣體分子只到達(dá)熱元件,在此處可測量氣體的熱損耗。

冷陰極反磁控管采用高電壓陽極、陰極和永磁體。電子向陽極加速,并將通過碰撞而使分子離子化。磁場使電子偏轉(zhuǎn),從而使電子在穿過磁場前往陽極時做螺旋形移動。這種螺旋運(yùn)動增大了電子遇到分子并使分子離子化的機(jī)會。

分子離子化產(chǎn)生電流,該電流是壓力的函數(shù)。這兩個傳感器元件均極為堅固耐用,可承受較高重力和瞬間空氣涌入。



更多信息請聯(lián)系萊寶:安博元科技 info

應(yīng)用

變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中,如:工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:

· 一般真空壓力測量

· 氣體回填測量和控制

· 涂料

· 質(zhì)譜儀控制

· 系統(tǒng)過程控制

· 檢測異常壓力,利用設(shè)定點繼電器采取妥當(dāng)?shù)陌踩胧?/span>

· 控制系統(tǒng)壓力


測量原理:

依據(jù) MEMS Pirani 傳感器的熱傳導(dǎo)性



冷陰極離子化電流






測量范圍 (N2 和空氣):

1×10-8 1000 毫巴







精確度 (1) (N2):

1×10-8 1x10-3 毫巴 (CC):

誤差是讀數(shù)的 ±30%



1×10-4 1x10-3 毫巴 (MP):

誤差是讀數(shù)的 ±10%



1×10-3 100 毫巴 (MP):

誤差是讀數(shù)的 ±5%



100 1000 毫巴 (MP):

誤差是讀數(shù)的 ±25%


重復(fù)性 (1) (N2):

1×10-3 100 毫巴:

誤差是讀數(shù)的 ±2%






電源電壓:

9-30 伏直流



功耗:

< 2



熔絲 (熱可恢復(fù)):

200 毫安



模擬輸出 (100 歐阻抗):

2-8.6 伏直流,Log. 0.6 伏直流/十進(jìn)制



模擬輸出分辨率:

16



模擬輸出更新率:

16 赫茲



傳感器故障模擬輸出 (Pirani):

10 伏直流







材料暴露于真空 (2):

304 號不銹鋼、密封材料 FPM






機(jī)械設(shè)定點繼電器:




P/N: 230070V02230071V02、230072V02、230085V02:

0



P/N: 230088V02:

3



設(shè)定點繼電器范圍:

1×10-8 1000 毫巴



設(shè)定點繼電器觸點額定值:

1 /30 伏直流/交流 (電阻性負(fù)載)



設(shè)定點繼電器觸點電阻:

100 毫歐 ()



設(shè)定點繼電器響應(yīng)時間:

<100 毫秒



設(shè)定點繼電器觸點耐久性:

100000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/1 安負(fù)載)



設(shè)定點繼電器觸點耐久性:

2000000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/0.2 安負(fù)載)







軟件設(shè)定點繼電器:




P/N: 230089V02:

2



設(shè)定點繼電器響應(yīng)時間:

< 20 毫秒







內(nèi)部容積:

KF25

28.6 厘米3


KF40

21.7 厘米3



CF46

32.7 厘米3







外殼材質(zhì):

304 號不銹鋼







重量:




P/N: 230070V02、230088V02:

321



P/N: 230089V02:

600



P/N: 230085V02:

550



P/N: 230071V02:

358



P/N: 230072V02:

576







允許壓力:

6



運(yùn)行溫度:

0 40 °C (32 104 °F)



烘烤溫度 (電源關(guān)閉):

85 °C (185 °F)



燈絲溫度:

超過室溫 35 °C



異物防護(hù)等級:

IP40



泄漏速率:

< 5?0-9 毫巴?/





零件

產(chǎn)品號

PTR 90 N,DN25 KF

230070V02

PTR 90 N,DN25 KF;Display

230085V02

PTR 90 N,DN40 KF

230071V02

PTR 90 NDN40 CF

230072V02

PTR 90 N,DN25 KF,RS232,3SP

230088V02

PTR 90 NDN25 KF,EtherCAT

230089V02

陰極替換片 PTR 90 N / PTR225 N*

EK16291V02

陽極替換環(huán) PTR 90 N / PTR 225 N**

V02



Display 1

230001

Display 2

230024

Display 3

230025



Graphix 1

230680V01

Graphix 2

230681V01

Graphix 3

230682V01



A 型電纜,5

12426

A 型電纜,10

230012

A 型電纜,15

12427

A 型電纜,20

12428

A 型電纜,30

12429

A 型電纜,50

12431

A 型電纜,75

12432

A 型電纜,100

12433



螺旋管 DN 25 ISO-KF

230083

螺旋管 DN 40 ISO-KF

230084



定心環(huán) (1.4305 號不銹鋼),含 O 型環(huán)

88374

定心環(huán) (不銹鋼),含燒結(jié)金屬過濾器

88352

卡環(huán) ()

210043

隔板,含定心環(huán) (FPM)

230078




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