詳細(xì)摘要： 為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD），內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化...

詳細(xì)摘要： OTF-1200X-50-PE-S是一款小型的PE-CVD（等離子體氣相沉積）管式爐系統(tǒng)

詳細(xì)摘要： OTF-1200X-80-II-4CV-PE-SL是一款滑動(dòng)式雙溫區(qū)PECVD管式爐系統(tǒng)