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GSL-1100X-III-D11-8 1100℃雙管三溫區(qū)管式爐(石墨烯生長)

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更新時間:2023-02-01 09:45:12瀏覽次數(shù):171

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產(chǎn)品簡介

GSL-1100X-III-D11-8是一款CE認證的三溫區(qū)雙管管式爐

詳細介紹

GSL-1100X-III-D11-8是一款CE認證的三溫區(qū)雙管管式爐,其外管直徑11英寸,內(nèi)管直徑8.5英寸,在加熱管一端安裝有一對高真空不銹鋼法蘭,法蘭上安裝有機械壓力表和閥門,三個溫區(qū)都是采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器進行溫度控制,采用K型熱電偶進行測溫,控溫精度+/- 1 ºC ,專門針對于用在金屬箔上生長薄膜物質(zhì),如石墨烯、使用時把金屬箔附在內(nèi)管

技術參數(shù)

雙重石英管結構

  • 高純石英管
  • 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命
  • 外管寸: 279 O.D x 269 I.D x 1300mm Length (11" O.D x 10.6" I.D x 48" 兩端打開,可以連接法蘭
  • 內(nèi)管尺寸 : 216 OD x 206 IDx 750 mm Length (8.5"OD x 8.1"ID x30"L),一端封閉另一端連接到氣體入口和出口.

殼體結構

  • 采用雙層殼體結構,并帶有風冷,使得殼體表面的溫度小于. < 70°C.
  • 保溫材料采用高純氧化鋁纖維,環(huán)保節(jié)能,可以的減少熱量的損失.
  • 加熱元件: NiCrAl電阻絲
  • 儀器中包含兩個石英管塞,設備在加熱前必須放入爐管內(nèi),防止熱量以熱輻射的形式散失
  • 如果使用內(nèi)管進行薄膜的生長,那么可在8英寸的基片上

加熱區(qū)

  • 總加熱區(qū)長度: 900 mm (36")
  • 三個溫區(qū): 300 mm + 300 mm + 300mm (12" per zone)
  • 恒溫區(qū)長度: 500 mm 如果三個溫區(qū)在同一個溫度)

工作溫度

  • 工作溫度 1100°C ( < 1 hour )
  • 正常工作溫度: 200~1000°C
  • 升溫速率& 降溫速率: 10°C/min
  • 溫度均勻性

溫控系統(tǒng)

  • 三個精密溫度控制器,采用PID方式控溫,并可設置30段升降溫程序,每個溫區(qū)可以進行獨立控溫
  • 熱電偶: 三根 K型熱電偶,每個溫區(qū)各一根
  • 控溫精度: +/- 1°C
  • SRC (Silicon Controlled Rectifier) power control
  • 可選:PC控溫軟件,將溫度曲線和程序導入到電腦中(另購)

真空密封法蘭

  • 儀器中包含有一對不銹鋼真空密封法蘭,采用硅膠密封圈密封
  • 真空度可以達到10^-2 torr(用機械泵)
  • 左側法蘭:包括 化學汽相淀積進氣口和冷卻氣體in&out端口
  • 右側法蘭: KF40真空接口和: KF40真空閥門 直接于KF-40波紋管和真空泵相連接,(如想泵和KF-25接口相連接,需要另購一個KF-40KF-25接頭)

電壓

  • 單相 220V AC, 50/60 Hz
  • 包含電源線插頭AWG 8#

功率

8KW (50A空氣開關)

外形尺寸

  • 1300 L x 623 W x 940 H mm (51" L x 24.5" W x 37" H) (不包含真空法蘭)
  • 1670 L x 623 W x 940 H mm (66" L x 24.5" W x 37" H) (包含真空密封法蘭)

凈重

200kg

運輸尺寸

70" x 70" x 65"

運輸重量

500Lbs (227kg)

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,相關耗材除外,如爐管密封圈,加熱元件等易耗件

質(zhì)量認證


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