XBS三級濾過四極質(zhì)譜(MBE Deposition Rate Monitoring / Control System),適于精確的MBE分析,其他氣體分析和科學(xué)實驗使用。Windows™ 界面的MASsoft軟件通過RS232、RS485 或以太網(wǎng)控制。
·離子源控制,用于軟離子化和表觀電勢質(zhì)譜
·靈敏度增強用于大質(zhì)量數(shù)的傳輸,自動質(zhì)量數(shù)范圍列表
·一級過濾處增加射頻,抗污染物能力增強
·內(nèi)置UHV 兼容的水冷卻罩
·靈敏度高,檢測范圍: 至5ppb
·質(zhì)量數(shù)范圍: 0~ 510amu
·長期穩(wěn)定性: 24h以上,峰高變化小于±0.5%)
·交叉離子源,束接收角同軸的橫斷面呈 ±35°
·2mm 束接受孔,也可為特殊使用者配置
·分子束研究中,檢測極限低至30 ions/s
·監(jiān)測生長速率: 1? / min,或更低
XBS Monitor for the Molecular Beam Epitaxy Process (390 KB)
Mass Spectrometers for Thin Films, Plasma and Surface Engineering (1.1 MB)