這種氣路控制系統(tǒng)適用于控制一種到三種氣體的通入,管式爐可以放在它上面,結(jié)合管式爐,它可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐,用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。
- GSL-3F適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多種氣體切換使用,而不會(huì)造成大氣進(jìn)入加熱管。
- 氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀,外形美觀、實(shí)用,操作簡便。
- 顯示流量準(zhǔn)確,可有效控制氣體消耗量。
序號 | 品名 | 型號 | 數(shù)量 |
1 | 截止閥 | 160p | 4只 |
2 | 浮子流量計(jì) | 10-100ml/min | 1只 |
16-160ml/min | 1只 | ||
25-250ml/min | 1只 | ||
3 | 混氣罐 | ф80×140mm | 1個(gè) |
4 | 壓力真空表 | (ф60)-0.1∽0.15Mpa | 1塊 |