LVD-F1是一款專門針對(duì)實(shí)驗(yàn)室中CVD實(shí)驗(yàn)中導(dǎo)入液體的一套系統(tǒng),其液體流量是通過一數(shù)字液體泵來控制,流量為80ml/min,精確度為0.005ml。液體被蠕動(dòng)泵導(dǎo)入到混氣系統(tǒng)后,被系統(tǒng)里的加熱裝置加熱成蒸汽,然后隨導(dǎo)入的氣體被帶入到爐管中。LVD-F1能夠?qū)С龆喾N液體,比如ETOH, SnCl4, TiCl4r, SiHCl3, 和Zn(C2H5)2,還有多種有機(jī)物混合。對(duì)于研究用CVD方法生長納米線和薄膜LVD-F1是一款的研究設(shè)備。
技術(shù)參數(shù)
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輸入電源 |
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蠕動(dòng)泵 |
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加熱系統(tǒng) |
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氣體流量控制系統(tǒng) |
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應(yīng)用 |
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外型尺寸 |
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質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期 |
質(zhì)量認(rèn)證 | CE Certified |