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Brooks Instrument GF100 系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海晉普實業(yè)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號GF100 系列
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/3/20 10:32:13
  • 訪問次數(shù)226
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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上海晉普實業(yè)有限公司是一家綜合性公司,主要業(yè)務(wù):代理經(jīng)銷世界,為國內(nèi)廠家提供國外工控,自動化設(shè)備和儀器儀表,機(jī)械配件?! ∩虾x普實業(yè)有限公司直接歐美進(jìn)口,避開國內(nèi)總代理,為您低價購入產(chǎn)品,通過在德國的拼貨倉庫,拼單發(fā)貨,并集中辦理手續(xù),為您節(jié)省運費和清關(guān)等費用,通過健全的物流程序,每周至少空運發(fā)貨一次,為您縮短貨期,給您不同的選擇。我公司以規(guī)范的管理,流程化的采購模式,健全的物流配套,完善的售后,竭誠為你服務(wù)?! ”竟揪哂胸S富的海外采購經(jīng)驗,尤其擅長歐美工業(yè)產(chǎn)品采購,價格合理、服務(wù)周到,特別是一些流量計、真空泵產(chǎn)品的采購,同時我公司能承擔(dān)大型進(jìn)口設(shè)備及配件的進(jìn)出口代理業(yè)務(wù),為客戶提供準(zhǔn)確、快捷、完善的現(xiàn)代工業(yè)供應(yīng)鏈整合服務(wù)。
高溫風(fēng)速計
GF100 系列金屬密封質(zhì)量流量控制器和儀表性能:快速響應(yīng)和可重現(xiàn)的高純度/超高純度過程氣體輸送。專為半導(dǎo)體、MOCVD 等其他氣體流量控制應(yīng)用設(shè)計,GF100 系列在可靠性方面優(yōu)于半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)水平,可確保測量結(jié)果可重現(xiàn)并且長時間使用后性能依然高度穩(wěn)定。一臺采用標(biāo)準(zhǔn) MultiFlo™ 技術(shù)的 MFC 即可滿足數(shù)千種氣體類型和各種量程組合的需求,無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度。
Brooks Instrument GF100 系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表 產(chǎn)品信息

特點

  • 長期零點穩(wěn)定性,每年變動小于滿量程的 ± 0.5%

  • 穩(wěn)定時間:700 ms - <1 秒

  • 滿量程流速高達(dá) 300 slpm

  • 全金屬密封流路:可選擇采用 4µ 或 10µ 英寸 Ra 表面處理的流路

  • 耐腐蝕 Hastelloy® T-Rise 傳感器可提升高溫下測量結(jié)果的可重現(xiàn)性

  • MultiFlo™ 氣體和量程設(shè)定功能 — 一臺設(shè)備即可滿足數(shù)千種氣體類型和各種量程組合的需求,無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度

  • 本地顯示屏

  • 可選 SDS 氣體輸送

  • DeviceNet™、RS-485 L-協(xié)議和模擬接口

  • 優(yōu)勢

    • 按照半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)對高性能組件進(jìn)行七次連續(xù)測試以確保其可靠性

    • 表面積和未吹掃體積更小的全金屬耐腐蝕流路可確保流路在吹掃步驟更快干燥

    • MultiFlo™ 技術(shù)可在 60 秒內(nèi)完成新過程氣體和/或量程的設(shè)定操作 – 不再需要拆除并校準(zhǔn) MFC

    • 高度可配置平臺可使大部分品牌的金屬密封 MFC 實現(xiàn)插入式更換和升級,適用范圍包括早期的 Celerity、Mykrolis、Tylan 和 UNIT 品牌產(chǎn)品

    • GF120 安全輸送系統(tǒng) (SDS®) 是布魯克斯儀器公司的低壓損質(zhì)量流量控制器,適用于輸送注入和勢壘層腐蝕過程中使用的次大氣壓安全輸送系統(tǒng) (SDS) 氣體

    • 便捷的用戶顯示屏和獨立的診斷/維護(hù)端口有助于設(shè)備安裝、監(jiān)測和故障排除

    應(yīng)用

    • 半導(dǎo)體蝕刻工具

    • 薄膜化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(CVD、MOCVD、PECVD、ALD)

    • 物理氣相沉積 (PVD) 系統(tǒng)

    • 外延工藝系統(tǒng)


關(guān)鍵詞:傳感器 控制器
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