飛納臺(tái)式掃描電子顯微鏡Phenom ProX
飛納電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX 是的集成化成像分析系統(tǒng)。借助該系統(tǒng),既可觀察樣品的表面形貌,又可分析其元素組分。
研究樣品時(shí),得到樣品的形貌信息只是解決了一半問題。獲得樣品的元素組分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊設(shè)計(jì)的能譜探測(cè)器,飛納電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX 可以完善解決上述所有問題。
能譜儀是一種基于樣品被電子束激發(fā)而產(chǎn)生 X 射線的分析儀器。Phenom 的能譜儀無(wú)論軟件、硬件都是集成設(shè)計(jì)在飛納電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX 系統(tǒng)中。
Element Identification (EID) 軟件可以使用戶實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)分析,檢測(cè)樣品的元素組分。此外,該軟件還可以擴(kuò)展到元素分析線面掃(mapping)功能。分步操作界面可以幫助用戶更方便地收集、導(dǎo)出分析數(shù)據(jù)。
Phenom ProX 主要技術(shù)參數(shù)
光學(xué)放大 | 20 - 135 X |
電子放大 | 150,000 X |
分辨率 | 優(yōu)于 8 nm @ 10kV |
數(shù)字放大 | Max 12 X |
光學(xué)導(dǎo)航相機(jī) | 彩色 |
加速電壓 | 5 Kv - 15 Kv 連續(xù)可調(diào) |
真空模式 | 標(biāo)準(zhǔn)模式 降低荷電效應(yīng)模式 |
探測(cè)器 | 背散射電子探測(cè)器 |
樣品尺寸 | 直徑 32 mm |
樣品高度 | 100 mm |