產(chǎn)品類別: 氣體流量計(jì)
適用于大批量成本敏感的OEM項(xiàng)目
SFM5300質(zhì)量流量計(jì)具有的精度(誤差<1%)、可重復(fù)性和長期穩(wěn)定性,寬動(dòng)態(tài)測量范圍,尺寸緊湊。SFM5300質(zhì)量流量計(jì)采用鈑金式連接方式和數(shù)字接口。金屬SFM5300是SFM5400系列質(zhì)量流量計(jì)的變種適用于大批量成本敏感的OEM項(xiàng)目。
SFM5300質(zhì)量流量計(jì)的杰出性能基于創(chuàng)新的技術(shù),它在一個(gè)硅芯片上集成了高精度傳感元件和信號(hào)處理電路。結(jié)合優(yōu)質(zhì)材料,其實(shí)現(xiàn)了一個(gè)持久穩(wěn)定、快速和高精度的SFM5300質(zhì)量流量計(jì)。
SFM5300質(zhì)量流量計(jì)是SFC5300質(zhì)量流量控制器的無閥門版本。兩個(gè)傳感器產(chǎn)品具有相同的性能特性,并適用于在類似的應(yīng)用,這意味著它們可以理想地結(jié)合在一起。在SFC5300 網(wǎng)站,你可以找到關(guān)于質(zhì)量流量控制器的進(jìn)一步信息和詳細(xì)規(guī)格。
性能參數(shù):
低流量的高精確度(< 1 sccm)
優(yōu)良的精度/可重復(fù)性(分別為測量值的2% / 0.2%)
寬動(dòng)態(tài)范圍(量程比1000:1)
尺寸緊湊(downmount安裝連接)
多氣體和氣體識(shí)別
數(shù)字接口
高度可配置
MTBF 169年-無需再校準(zhǔn)
文件下載:氣體質(zhì)量流量計(jì) SFM5300