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日立 超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱富泰微科學(xué)儀器(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2024/4/3 15:47:45
  • 訪問(wèn)次數(shù)169
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富泰微科學(xué)儀器(上海)有限公司總部坐落于上海,在江蘇設(shè)立辦事處。富泰微專注納米級(jí)微觀光學(xué)儀器研發(fā),銷售以及售后服務(wù)。主要產(chǎn)品包括:SEM掃描電子顯微鏡、AFM原子力顯微鏡、TEM透射電子顯微鏡、FIB聚焦離子束顯微鏡、共聚焦顯微鏡、浩視3D顯微鏡、ZYGO白光干涉儀、ZYGO激光干涉儀、臺(tái)階膜厚儀等納米級(jí)光學(xué)測(cè)量?jī)x器。 公司擁有專業(yè)化的管理團(tuán)隊(duì)和完善的管理體系,內(nèi)部建立了完善的服務(wù)平臺(tái)。從產(chǎn)品售前到售后服務(wù)都能進(jìn)行全程的跟蹤與管控。公司擁有多年行業(yè)管理和銷售經(jīng)驗(yàn),在細(xì)分行業(yè)中,得到行業(yè)中客戶及同行業(yè)的高度認(rèn)可。 我司產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于化工、電子、半導(dǎo)體、材料、生物技術(shù)、食品以及政府單位和高校科研院所等領(lǐng)域。
離子研磨儀
產(chǎn)品介紹 現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。
日立 超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列 產(chǎn)品信息



產(chǎn)品介紹:


       現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。


       "Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*1,可以獲得高穩(wěn)定的束流。


       通過(guò)優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng),Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。


       此外,為充分發(fā)揮超高分辨的能力,放大倍率也從過(guò)去的100萬(wàn)倍提升到200萬(wàn)倍*1。


       Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能,通過(guò)此功能用戶更容易理解各種復(fù)雜信號(hào)的檢測(cè)原理,幫助用戶充分發(fā)揮儀器的性能。


*1   Regulus8240/8230/8220


產(chǎn)品特點(diǎn):


  • 沿用"SU8200系列"的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*2

  • 采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間,使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能
    (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)

  • 采用污染小、高真空樣品倉(cāng)

  • 運(yùn)用能量過(guò)濾器(選配),可觀察到多種成分對(duì)比度*2


*2   Regulus8240/8230/8220


產(chǎn)品規(guī)格:



項(xiàng)目

Regulus 8100Regulus 8220Regulus 8230Regulus 8240
二次電子分辨率0.7 nm
(加速電壓15 kV)
0.6 nm(加速電壓 15 kV)
0.7 nm(著陸電壓 1 kV)*3
0.8 nm
(著陸電壓1 kV)*3
著陸電壓0.1~2 kV0.01~20 kV
放大倍率20~1,000,000倍*420~2,000,000倍*4

臺(tái)

樣品臺(tái)控制3軸馬達(dá)臺(tái)(可選5軸馬達(dá)臺(tái))5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)

動(dòng)

X0~50 mm0~50 mm0~110 mm0~110 mm
Y0~50 mm0~50 mm0~110 mm0~80 mm
R360°
T-5~70°
Z1.5~30 mm1.5~40 mm
再現(xiàn)性---±0.5 µm以下含
±0.5 µm


*3      減速模式下觀察


*4      以127 mm × 95 mm底片為基準(zhǔn)的倍率



關(guān)鍵詞:過(guò)濾器
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