◆ 聚焦離子束(FIB)微采樣裝置和聚焦離子束(FIB)微采樣方法
◆ 聚焦離子束(FIB)微柱狀制樣實例
一個微柱狀樣品,包含一個直接從半導(dǎo)體器件上準(zhǔn)確地切割下來的分析點。改變?nèi)肷渚劢闺x子束(FIB)的方向,把微樣品切割或加工成任意形狀。
◆ 聚焦離子束-掃描透射電子顯微鏡系統(tǒng)
新開發(fā)的半導(dǎo)體裝置評估系統(tǒng)由FB2200聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)和HD-2700 200 kV(STEM)掃描透射電子顯微鏡構(gòu)成。從對材料缺陷(組織)的搜索到亞納米薄膜高精度結(jié)構(gòu)分析,只要幾小時即可完成。
聚焦離子束-透射電子顯微鏡(掃描透射電子顯微鏡)(FIB-TEM(STEM))的樣品桿可互換共用
◆ DRAM 觀察實例
針尖頂端的微柱狀樣品SEM像 微柱狀樣品的明場STEM像