等離子表面處理是通過對氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子體。等離子體的“活性”組成包括：離子、電子、原子、活性基因等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。
真空等離子清洗機的結(jié)構(gòu)主要分為五大組成部分：控制系統(tǒng)、激勵電源系統(tǒng)、真空腔體、工藝氣體系統(tǒng)、真空泵系統(tǒng)。
（A）控制系統(tǒng)：控制系統(tǒng)作用在于控制整個真空等離子清洗設(shè)備的運行，以及整體系統(tǒng)的保護(hù)。
（B）激勵電源系統(tǒng)：等離子體的產(chǎn)生需要高壓激勵，真空等離子采用射頻電源（0-1000W）或中頻電源（0-2000W）進(jìn)行激勵，射頻電源頻率13.56MHz，中頻電源頻率40KHz。參數(shù)根據(jù)樣品實際情況可進(jìn)行調(diào)節(jié)，可達(dá)到的改性效果。
（C）真空腔體：真空腔體主要分為三種材質(zhì)：①不銹鋼真空腔體 ②石英腔體 ③高強度鋁合金腔體
電極板放置方式：①平板水平電極式 ②平板垂直電極式
根據(jù)不同行業(yè)與應(yīng)用領(lǐng)域選擇腔體材質(zhì)和電極板放置方式。
（D）工藝氣體系統(tǒng)：標(biāo)配兩路工藝氣體，根據(jù)清洗材質(zhì)的不同，可分別選用氬氣、氧氣、氮氣、氫氣、四氟化碳?xì)怏w。
（E）真空泵系統(tǒng)：真空泵組主要分為三種：①油泵 ②羅茨泵 ③干泵
抽真空速度是決定一臺真空等離子清洗機工作效率的重要因素之一，抽真空速度的快慢主要是取決于真空泵。根據(jù)測量樣品的真空度要求和體積要求來配置真空泵組。
點銀膠前：去除基板上污染物，提升基板的親水性，利于銀膠吸附和芯片粘貼，節(jié)省銀膠使用量，降低成本。
引線鍵合：有效去除管座表面有機污染物粒子，提升封裝穩(wěn)定性。
封裝固化前：有效去除管座表面有機污染物粒子，提升封裝穩(wěn)定性。
多重真空泵系統(tǒng)
密封性的真空腔體設(shè)計
智能化程序化控制
超低清洗溫度
放電技術(shù)
一鍵安全保障
多路氣體控制
多種配件搭配
自動化定制方案
SPV-60真空等離子清洗機
專為面積較大、形狀復(fù)雜的材料進(jìn)行表面改性處理，是實現(xiàn)清潔、改性、刻蝕功效的理想選擇
SPV-100真空等離子清洗機
超低處理溫度45℃，不造成熱影響，確保穩(wěn)定的處理效果
SPV-200真空等離子清洗機
可定制流水線自動化方案，低氣體用量，穩(wěn)定性強，減少人力及使用成本
SPK-800S寬幅射頻等離子清洗機
臺800mm超長處理寬度，單位面積處理時間提升3倍
| 外形尺寸 | 1020*1720*1120mm（寬*高*深） |
| 重量 | 350KG |
| 設(shè)備外觀顏色 | 銀灰色 |
| 射頻電源 | 功率：0~600W 頻率：13.56MHz |
| 中頻電源 | 功率：0~2000W 頻率：40KHz |
| 腔體內(nèi)部尺寸 | 500*500*675mm（寬*高*深） |
| 厚度 | 25mm |
| 材質(zhì) | 鋁合金（可定制不銹鋼腔體） |
| 密封性 | 級焊接密封 |
| 電極板有效尺寸 | 587*470mm（寬*深） |
| 可用空間間距 | 34mm |
| 工作空間 | 8層 |
| 工作托盤 | 標(biāo)配一套，材質(zhì)可選配（鋁材、鋼絲網(wǎng)） |
| 電極板布置方式 | 水平布置，可活動抽取 |
| 泵組 | 雙級旋片泵（油泵）或羅茨泵+單級旋片泵 |
| 真空管路 | 全不銹鋼管路，以及高強度真空波紋管 |
| 流量范圍 | 0~300SCCM |
| 工藝氣體氣路 | 標(biāo)配兩路，可定制（氬氣、氧氣、氮氣、氫氣、四氟化碳） |
| 系統(tǒng)控制 | PLC |
| 交互方式 | 7寸觸控屏幕 |
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