詳細(xì)摘要： 納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)VS1800應(yīng)用光干涉現(xiàn)象，對微細(xì)的表面形貌進(jìn)行測量，可實(shí)現(xiàn)高性能薄膜、半導(dǎo)體、汽車零配件、顯示器等行業(yè)所要求的高精度測量。而且還能...