詳細(xì)摘要： 激光干涉儀采用相移技術(shù)準(zhǔn)確表征被測表面的三維形貌，測量精度高達(dá) 0.06um 甚至更高，廣泛用于平面光學(xué)元件高精度檢測。

詳細(xì)摘要： 激光干涉儀采用相移技術(shù)準(zhǔn)確表征被測表面的三維形貌，測量精度 Pv 高達(dá) 0.06μm 甚至更高，廣泛用于平面光學(xué)元件高精度檢測。