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詳細(xì)介紹
大口徑波長(zhǎng)移相激光干涉儀
激光干涉儀采用相移技術(shù)準(zhǔn)確表征被測(cè)表面的三維形貌， 測(cè)量精度 Pv 高達(dá) 0.06μm 甚至更高，廣泛用于平面光學(xué)元 件高精度檢測(cè)。
應(yīng)用
廣泛用于平面光學(xué)元件高精度檢測(cè)。
特點(diǎn)
--準(zhǔn)確測(cè)量大口徑的光學(xué)元件的透射波前、反射波前。
--測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性能媲美美國(guó) Zygo 和 4D 干涉儀。
--根據(jù)客戶要求定制開發(fā)。
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主要技術(shù)指標(biāo)
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