機(jī)臺(tái)用途: 機(jī)臺(tái)用來(lái)完成對(duì)外延石英鐘罩的清洗;工件進(jìn)行內(nèi)部腐蝕清洗并干燥，外部進(jìn)行水洗。適用鐘罩型號(hào)：3061；630/680

特點(diǎn)：生產(chǎn)主線(xiàn)為：該設(shè)備主要由濕法清洗工藝模塊+主軸旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)模塊、清洗臂掃描旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)模塊、N2吹干系統(tǒng)模塊、液體供應(yīng)系統(tǒng)模塊、空氣凈化（配帶離子風(fēng)機(jī)）及靜電去除...

生產(chǎn)主線(xiàn)為：腐蝕槽1、沖水槽2、輕刻槽3、沖水槽4、上下料臺(tái)，共4個(gè)清洗工位。右進(jìn)右出設(shè)備。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件均采用進(jìn)口優(yōu)質(zhì)件，性能可靠，使用壽命長(zhǎng)；及背...

生產(chǎn)主線(xiàn)為：石英加熱槽1、QDR槽2、PVDF槽3、QDR槽4、NPP槽5、NPP槽6，QDR槽7,IPA干燥槽8，共8個(gè)制程工位。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件均采...

生產(chǎn)主線(xiàn)為：上料臺(tái)、MAE酸槽1、QDR槽2、MAE酸槽3、QDR槽4、C5酸槽5、QDR槽6、下料臺(tái)，共6個(gè)制程工位。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件均采用進(jìn)口優(yōu)質(zhì)件...

有機(jī)清洗機(jī)生產(chǎn)主線(xiàn)為：上料臺(tái)、ACE1槽1、ACE2槽2、METH槽3、QDR槽4、QDR槽5、IPA槽6、HOT N2槽7、下料臺(tái)，共6個(gè)制程工位。本設(shè)備電器...

生產(chǎn)主線(xiàn)為：上料臺(tái)、超聲循環(huán)溢流槽1、循環(huán)溢流槽2、循環(huán)溢流槽3、QDR槽4、QDR槽5、下料臺(tái)，共5個(gè)制程工位。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件均采用進(jìn)口優(yōu)質(zhì)件，性能...

生產(chǎn)主線(xiàn)為：H2O超聲槽1、界面活化劑槽2、H2O超聲槽3、界面活化劑槽4、H2O超聲槽5、HCL槽6、H2O超聲槽7，共7個(gè)制程工位。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件...

生產(chǎn)主線(xiàn)為： Load，藥液A槽1、QDR槽2……干燥槽N、Unload，共X個(gè)制程工位, 設(shè)置為6" *1 cassette晶舟上貨，將晶舟置于Robot上貨...

生產(chǎn)主線(xiàn)為：設(shè)置為自動(dòng)晶舟上貨，將晶舟置于Robot上貨區(qū)位置，按下【啟動(dòng)鍵】，Robot將自動(dòng)以?shī)A持方式移至制程槽進(jìn)行預(yù)設(shè)之制程，完成設(shè)備本身設(shè)定之流程，達(dá)成...