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產(chǎn)品詳情：

項(xiàng)目			說明
機(jī)臺型號			CGB-WBXX-XXXX；
機(jī)臺數(shù)量			1臺（套）；
機(jī)臺重量			XX；
清洗能力（采購方提供cassette樣品）			6 inch 8inch 2 cassette / Batch 25 Pcs/cassette；片盒采購方提供；
圓片厚度范圍			6寸：150微米-300微米；8寸：150微米-300微米；
片架			6寸8寸為25片標(biāo)準(zhǔn)片架，8吋卡塞型號：192A型；
功能			本設(shè)備為全新設(shè)備，用于6吋和8吋超薄片硅腐蝕、HF處理、純水沖水；
產(chǎn)能要求			濕法制程清洗工藝XXXX Pcs /月（按照30min/Run，50PCS/Run，22小時/天，26天/月計(jì)算，預(yù)估值）；
設(shè)備形式（潔凈度：千級潔凈室）			室內(nèi)放置型；
機(jī)臺封面、主要結(jié)構(gòu)材質(zhì)			聚丙烯磁白PP （）；
			阻燃聚丙烯PP（）；
			阻燃米黃色聚氯乙烯PVC（√）；
			SUS304單鏡面板材（）；
機(jī)臺視窗	材質(zhì)		透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC （√）；
			SUS304單鏡面板材及鋼化玻璃（）；
	模式		上下舉升式（）；
			單（雙）門對開式（）；
			左右推拉式（√）；
機(jī)臺主機(jī)強(qiáng)度結(jié)構(gòu)			碳鋼結(jié)構(gòu)骨架；
防漏盤	材質(zhì)		聚丙烯磁白PP板材；
	模式		分體式每側(cè)尺寸比設(shè)備本體長50mm；
漏液檢測裝置	材質(zhì)		防腐材質(zhì)；
	點(diǎn)式		單點(diǎn)式；
其它	水平調(diào)整		通過地腳調(diào)整設(shè)備水平；
	設(shè)備移動		設(shè)備裝有樹脂腳輪以備設(shè)備移動之用；
臺面板	材質(zhì)		￠12mm左右洞洞結(jié)構(gòu) 聚丙烯磁白PP板材（）；
			￠12mm左右洞洞結(jié)構(gòu) 阻燃聚丙烯PP板材（）；
			￠12mm左右洞洞結(jié)構(gòu) 阻燃米黃色聚氯乙烯PVC板材（√）；
			相鄰槽之間須有接水板，接水板須傾斜放置，用以盛接花籃經(jīng)過時漏液（）；
			￠12mm左右洞洞結(jié)構(gòu) SUS304單鏡面板材（）；
	模式		可拆式（√）；
			一體式（）；
排風(fēng)系統(tǒng)	排風(fēng)口位置		設(shè)備后頂部（√）；
			設(shè)備后下部（）；
			設(shè)備后部（）；
	排風(fēng)通道結(jié)構(gòu)		1.排風(fēng)強(qiáng)勁合理設(shè)計(jì)，為了排風(fēng)效果達(dá)到，排風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有風(fēng)量導(dǎo)流板； 2.為了方便操作人員根據(jù)情況及時調(diào)節(jié)排風(fēng)量，操作人員可小范圍調(diào)節(jié)機(jī)臺排風(fēng)背板上的可拆卸式(以便清除可能產(chǎn)生的結(jié)晶)排風(fēng)柵欄再配合機(jī)臺視窗上的可調(diào)進(jìn)氣模塊使用達(dá)到使用效果； 2.設(shè)備排風(fēng)通道的底部帶排液管，冷凝回流的廢液通過管道排放至機(jī)臺U型濕區(qū)內(nèi)與QDR排出的廢水混合稀釋并排放至機(jī)臺后方廠務(wù)廢水專用管道內(nèi)；
機(jī)臺的電控系統(tǒng)			安裝在機(jī)體的后部; 觸摸屏及電源控制開關(guān)、照明等安裝在設(shè)備正前方。各槽體的工藝過程均由PLC、觸摸屏、溫控器、傳感器等組成。設(shè)備具有上電手動操作復(fù)位功能。每個機(jī)臺可存儲X套工藝配方，操作者可通過觸摸屏調(diào)用預(yù)先編制好的工藝配方。軟件系統(tǒng)具有工藝配方參數(shù)設(shè)定、手動維護(hù)、自動運(yùn)行、狀態(tài)監(jiān)控等畫面。軟件具有報警信息、歷史記錄、維護(hù)信息等系統(tǒng)記錄。軟件系統(tǒng)具有3級加密進(jìn)入權(quán)限設(shè)置：分別為設(shè)備作業(yè)員、設(shè)備工程師、工藝工程師，不可混用權(quán)限；
工藝記錄儲存類型		工業(yè)條碼槍+PLC+觸摸屏	使用程序時刷條碼確認(rèn)程序,完成生產(chǎn)工藝中參數(shù)及工藝步驟等詳細(xì)記錄存儲,便于采購方對生產(chǎn)產(chǎn)品品質(zhì)管控; 程序運(yùn)行記錄可定時存儲，存儲數(shù)據(jù)類型參考如下：程序號、操作者、槽體溫度、設(shè)定時間、運(yùn)行時間、報警信息等（待定）。

規(guī)格特點(diǎn)：
01）工藝說明: 自動傳動，自動方式實(shí)現(xiàn)槽體間傳送工件，手臂按照菜單選擇流程作業(yè)，生產(chǎn)部人員選取菜單進(jìn)行作業(yè)，這個過程全自動進(jìn)行；
02）全程自動化控制，工藝過程中沒有人工干預(yù)，保證產(chǎn)品性能的一致性；
03）搬運(yùn)機(jī)械手的橫向移動和縱向提升均采用日本伺服馬達(dá)，閉環(huán)控制，定位精度≤1mm，可靠性高；采用雙導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)及線性模塊傳動，幾何曲線加減速運(yùn)動，沖擊小、運(yùn)動平穩(wěn)；
04）搬運(yùn)機(jī)械手臂單獨(dú)急停、暫停開關(guān)、系統(tǒng)急停開關(guān)和機(jī)械手馬達(dá)電機(jī)自動過載保護(hù)等多重保護(hù)，確保操作者的安全；
05）溢流工藝的應(yīng)用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；
06）工藝柔性化設(shè)計(jì)，工藝更改方便迅速；多工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲；
07）整機(jī)在使用、運(yùn)行過程中平穩(wěn)、可靠、不產(chǎn)塵、無溢出油污等；
08）整機(jī)采用PLC控制，觸摸屏顯示，清洗槽定溫控制，過溫保護(hù)及超(兆)聲低液位保護(hù)；
09）整機(jī)采用全封閉設(shè)計(jì)。設(shè)備運(yùn)行峰值噪音小且操作、維護(hù)和維修方便；
10）整機(jī)耐酸堿溶液及揮發(fā)氣體的腐蝕，電器元件正常安全使用；
11）機(jī)臺設(shè)有緊急停止回路（EMO急停按鈕，設(shè)備兩端各一個），并按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置接地保護(hù)斷路器；
12）整機(jī)前后區(qū)隔離，底板傾斜設(shè)計(jì)，便于排液，處設(shè)有漏液報警，前后區(qū)域均設(shè)水槍，確保漏液及時沖洗；
13）清洗槽體及管路配有明顯標(biāo)識或防錯設(shè)計(jì)，防止溶劑混用；
14）設(shè)計(jì)合理化的排風(fēng)管路，使酸堿液揮發(fā)氣體的污染最小化；
15）設(shè)備內(nèi)部輸水、輸氣管道管線布置于主體設(shè)備內(nèi)部；
16）工藝溢流槽體都需具有外槽獨(dú)立溢流方式，需采用四面溢流；如果無法實(shí)現(xiàn)，至少需要三面溢流；
17）軟件具有防呆功能；
18）搬運(yùn)機(jī)械手臂設(shè)有防夾防撞預(yù)警裝置（光電傳感器、機(jī)械傳感器、機(jī)械裝置等），以保護(hù)操作人員安全；
19) 設(shè)備后方、左右兩側(cè)需留有方便維護(hù)、維修的窗口；
20) 機(jī)臺上下料區(qū)配水***2把；
21) 機(jī)臺排風(fēng)口處安裝排風(fēng)壓力監(jiān)測裝置（帶信號報警裝置）；
22) 機(jī)臺總進(jìn)口處（N2或CDA）安裝有壓力監(jiān)測裝置（帶信號報警裝置）；
23) 工藝槽槽底傾斜式，便于排空；
24) Cassette transfer time < 5sec；
25) 機(jī)臺電器部分具備正壓N2保護(hù)，防止腐蝕；
26）具有作業(yè)記錄功能，可以 USB 接口 U 盤調(diào)取，配置攝像頭，并配置硬盤用于視頻保存，視頻保留時間不少于 30 天；
27）兩個藥業(yè)槽工藝時間到后有聲光提示；
28）機(jī)臺地腳做防腐處理：1.噴防腐漆，2.增加PP防護(hù)盒；
29）供液系統(tǒng)人工換桶時防止廢液回流，加裝收集桶；
30）機(jī)臺具備漏液監(jiān)測功能，如發(fā)生漏液報警時自動關(guān)閉排液功能；
31) Cassette搬運(yùn)使用工裝方式；