有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀設(shè)備用途:
有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀用于生長薄膜太陽能電池,EL OEL分子有機(jī)電致發(fā)光器件薄膜的研究工作。廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所進(jìn)行薄膜材料的科研與小批量制備。
有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數(shù):真空室 | 二個(gè)D型真空室,尺寸均約為?450×H750mm; 兩個(gè)真空室的真空系統(tǒng)配置、極限壓力、恢復(fù)真空時(shí)間、熱阻蒸發(fā)舟及電源、膜厚監(jiān)測儀、真空室照明裝置、烘烤裝置、樣品臺的配置與技術(shù)參數(shù)指標(biāo)相同; | |
真空系統(tǒng)配置 | 日本進(jìn)口低溫泵、無油渦旋干泵與電磁、復(fù)合數(shù)顯真空測量規(guī)與計(jì)、閥門等。 | |
極限壓力 | ≤2.0×10-5Pa | |
恢復(fù)真空時(shí)間 | 40分鐘可達(dá)到1×10-4Pa | |
電動(dòng)磁力耦合樣品傳遞裝置 | 真空室1 | 采用磁力耦合line motion傳遞裝置,采用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng),設(shè)有遠(yuǎn)程手控控制盒,可控制直線前進(jìn)后退。 |
有機(jī)蒸發(fā)源及電源 | 真空室1 | 新型0EL升華型蒸發(fā)源9支,每支蒸料可裝10CC,室溫-800℃7支,室溫-1000℃2支;蒸發(fā)源電源4臺。 |
真空室2 | 新型0EL升華型蒸發(fā)源6支,每支蒸料可裝10CC,室溫-800℃6支;蒸發(fā)源電源3臺。 | |
熱阻蒸發(fā)舟及電源 | 新型蒸發(fā)舟2組(熱阻蒸發(fā)舟); 數(shù)字式熱阻蒸發(fā)電源1臺,帶有細(xì)調(diào)功能(0.1安培);鍍鋁盒式蒸發(fā)舟:2個(gè); 普通金屬蒸發(fā)舟10個(gè);蒸發(fā)源擋板2套; | |
膜厚監(jiān)測儀 | 厚度分辨率 | 不平均:0.0133埃/測量;50個(gè)樣品平均:0.002埃/測量 |
速率分辨率 | 不平均:0.0133埃/秒;50個(gè)樣品平均:0.02埃/秒 | |
精度 | 0.03HZ/測量,2ppm | |
速度 | 每秒測量十次 | |
真空室照明裝置 | 采用LED外照明方式.避免鍍膜污染照明燈 | |
烘烤裝置 | 在真空室外烘烤帶的烘烤方式 | |
樣品臺 | 樣品尺寸 | 可放置一塊100×100mm或者50×50mm基片 |
運(yùn)動(dòng)方式 | 可電動(dòng)上下升降,可旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速為0-30轉(zhuǎn)/分,轉(zhuǎn)速可調(diào) |
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