產(chǎn)品介紹
本蒸發(fā)鍍膜儀在對樣品進(jìn)行蒸發(fā)鍍膜的過程中,樣品臺可進(jìn)行旋轉(zhuǎn),以獲得更均勻的薄膜。本型號的小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀應(yīng)用范圍廣,可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜,因此被廣泛用于電極的制備和有機(jī)物發(fā)光LED的制備。儀器體積小巧,可有效節(jié)約實驗室空間;操作簡單,對不同材料的適應(yīng)性強,因此被廣泛應(yīng)用于各大高校和科研院所的實驗室當(dāng)中。
產(chǎn)品特點
1.本設(shè)備采用石英腔體,易于清潔和樣品的放入;
2.樣品臺可以旋轉(zhuǎn),鍍膜效果能夠更加均勻;
3.采用鎢絲作為發(fā)熱源,*高溫度可達(dá)到1700℃,并配有的氧化鋁舟裝載樣品(僅1600oC以下使用,若蒸發(fā)溫度大于1600oC,樣品應(yīng)直接放在鎢絲籃中);
4.并且可將設(shè)備轉(zhuǎn)換到手動調(diào)節(jié)狀態(tài),內(nèi)部不安裝熱電偶,直接采用手動調(diào)節(jié)輸出電流大小,發(fā)熱源溫度可達(dá)2000oC,可達(dá)到對樣品鍍碳等實驗要求。
5.可向真空腔體中通入惰性氣體,對腔體進(jìn)行清洗,也可通入反應(yīng)氣體,進(jìn)行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜。
6.進(jìn)氣口配有針閥,用于調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量。
技術(shù)參數(shù)
項目 | 明細(xì) |
供電電壓 | AC220V,60Hz |
*大功率 | 800W |
樣品臺 | 直徑φ50mm; 可旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速5rpm; 與蒸發(fā)源間距可調(diào),調(diào)節(jié)范圍60mm-100mm |
石英腔體 | O.Dφ180mm x I.Dφ166mm x 235mm |
*高溫度 | 1700℃ |
熱電偶 | S型熱電偶,工作溫度200℃~1500℃ |
真空計 | 電子式真空計 |
真空接口 | KF16 |
進(jìn)氣接口 | 1/4NPS |
真空泵 | 雙極旋片真空泵 |
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