本產(chǎn)品有以下特點(diǎn):
1.本設(shè)備采用石英腔體,易于清潔和樣品的放入;
2.采用鎢絲籃或者鎢舟為發(fā)熱源,*高溫度可達(dá)到1700℃;
3.可向真空腔體中通入惰性氣體,對(duì)腔體進(jìn)行清洗,也可通入反應(yīng)氣體,進(jìn)行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜。
4.進(jìn)氣口配有針閥,用于調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量。
項(xiàng)目 | 明細(xì) |
供電電壓 | AC220V,60Hz |
*大功率 | 1000W |
樣品臺(tái) | 直徑φ60mm; 與蒸發(fā)源間距可調(diào),調(diào)節(jié)范圍60mm-100mm |
石英腔體 | O.Dφ180mm x I.Dφ166mm x 100mm |
蒸發(fā)源 | 鎢絲籃/鎢舟 |
*高溫度 | 1700℃ |
熱電偶 | B型熱電偶,工作溫度200℃~1500℃ |
真空計(jì) | 電阻式真空規(guī) |
真空接口 | KF16 |
進(jìn)氣接口 | φ6.35mm卡套接頭 |
真空泵 | 不含,客戶自備 |
整機(jī)尺寸 | 330x250x580mm |