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德國(guó) PVA TePla 等離子去膠機(jī) IoN 100WB-40Q

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公司名稱深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司
品牌
型號(hào)
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2021/7/19 20:43:28
訪問次數(shù)364

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深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司，經(jīng)過十多年的紫外光專業(yè)技術(shù)沉淀，可以根據(jù)客戶特殊要求提供定制化服務(wù)，研發(fā)設(shè)計(jì)組裝：紫外臭氧清洗機(jī)（UV清洗機(jī)），準(zhǔn)分子清洗機(jī)，等離子清洗機(jī)/去膠機(jī)等科研以及生產(chǎn)設(shè)備，擁有自主品牌及注冊(cè)商標(biāo)。同時(shí)我們代理歐美日多家高科技設(shè)備廠家高性價(jià)比產(chǎn)品, 始終堅(jiān)持創(chuàng)新, 技術(shù), 服務(wù), 誠(chéng)信的企業(yè)文化，為廣大中國(guó)及海外客戶提供的儀器設(shè)備和材料的整體解決方案。應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體/微納，光電/光學(xué), 生命科學(xué)/生物醫(yī)療等領(lǐng)域的研發(fā)和生產(chǎn), 客戶群體例如高等院校, 研究所，科技企業(yè)及醫(yī)療機(jī)構(gòu)等。半導(dǎo)體/微納，光電/光學(xué) 產(chǎn)品主要有：德國(guó)ParcanNano（Nano analytik）針尖光刻機(jī)，電子束光刻機(jī), 激光直寫光刻機(jī)，紫外光刻機(jī)，微納3D打印機(jī)，德國(guó)Sentech刻蝕機(jī)/鍍膜機(jī)及原子沉積，英國(guó)HHV磁控/電子束/熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)，微波離子沉積機(jī)MPCVD，芬蘭Picosun原子層沉積機(jī)，電子顯微鏡, 德國(guó)Bruker布魯克原子力顯微鏡/微納表征/光譜儀, 美國(guó)THERMO FISHER賽默飛光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀，美國(guó)Sonix超聲波顯微鏡, 德國(guó)耐馳Netzsch熱分析儀, 德國(guó)Optosol吸收率發(fā)射率檢測(cè)儀, 日本SEN UV清洗機(jī)/UV清洗燈，美國(guó)Jelight紫外清洗機(jī)/紫外燈管，德國(guó)Diener等離子清洗機(jī)等*技術(shù)產(chǎn)品。生命科學(xué)/生物醫(yī)療產(chǎn)品主要有：PCR儀，核酸質(zhì)譜儀/核酸檢測(cè)儀，電子顯微鏡，紫外設(shè)備，光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀，生物芯片，試劑，實(shí)驗(yàn)耗材等。并可依據(jù)客戶需求，研發(fā)定制相關(guān)產(chǎn)品。我們以高性價(jià)比的優(yōu)勢(shì)為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù)，為高等院校, 研究所，科技企業(yè)及醫(yī)療機(jī)構(gòu)等客戶提供儀器設(shè)備和材料。

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德國(guó) PVA TePla 等離子去膠機(jī) IoN 100WB-40Q，配備了一個(gè)圓筒石英腔，特別適用于半導(dǎo)體、LED、MEMS等領(lǐng)域的光刻膠灰化、打殘膠、氮化物刻蝕、表面清潔等應(yīng)用的批次處理。

德國(guó) PVA TePla 等離子去膠機(jī) IoN 100WB-40Q 產(chǎn)品信息

德國(guó) PVA TePla 等離子去膠機(jī)
型號(hào)：IoN 100WB-40Q 等離子去膠機(jī)

IoN 100WB-40Q 是我們推出的具有高性價(jià)比的真空等離子去膠設(shè)備。它來源于IoN 100-40Q，IoN 100WB-40Q延續(xù)了同樣的高品質(zhì)保障，包括可選壓力控制器、光譜終點(diǎn)檢測(cè)器等豐富配置選擇。

IoN 100WB-40Q 配備了一個(gè)圓筒石英腔，特別適用于半導(dǎo)體、LED、MEMS等領(lǐng)域的光刻膠灰化、打殘膠、氮化物刻蝕、表面清潔等應(yīng)用的批次處理。

IoN 100 WB旨在滿足客戶的生產(chǎn)需求，著重于表面處理的多功能性和可控性。其*的性能提供了出色的工藝控制、失效報(bào)警系統(tǒng)和數(shù)據(jù)采集軟件。這使得該設(shè)備可滿足半導(dǎo)體、LED、MEMS等領(lǐng)域嚴(yán)格的程序控制要求。IoN 100 WB結(jié)構(gòu)緊湊，集成度高，采用射頻（RF）頻率激發(fā)等離子體。

*的功能特性：
● 低微粒石英腔體

● 觸摸屏操作，圖形用戶界面（GUI）

● 使用Windows系統(tǒng)的工業(yè)計(jì)算機(jī)控制

● 工藝員、操作元、維護(hù)員訪問權(quán)限控制

● 自診斷功能和警報(bào)記錄功能，聯(lián)網(wǎng)在線診斷功能

● 以太網(wǎng)遠(yuǎn)程控制功能

● 工藝編輯軟件提供了快速靈活的步驟控制功能

● 可隔墻安裝

● 可選配光譜終點(diǎn)檢測(cè)功能

規(guī)格參數(shù)

工作腔室材料：石英
腔門材質(zhì) ：鋁（標(biāo)配）
腔體尺寸：直徑304 mm，深508mm

可處理晶圓尺寸：8”

處理量：50片6”

裝料方式：手動(dòng)

工藝氣體

質(zhì)量流量控制計(jì)：最多至6路氣體
工藝壓力：200-2000 mTorr(取決于真空泵和氣體流量)
抽真空時(shí)間：大約1分鐘 (取決于真空泵)

射頻電源：風(fēng)冷13.56MHz,600 瓦(標(biāo)準(zhǔn)配置)
供給需求電源：220V 單相, 50Hz
工藝氣體：輸入壓力 1-2 bar
吹掃氣體：輸入壓力 1-2 bar
壓縮空氣：輸入壓力 4-6 bar

機(jī)體

● 獨(dú)立的機(jī)體帶有所有電源和氣體接口
● 帶有旋轉(zhuǎn)墊腳的可轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)身

設(shè)備尺寸

標(biāo)準(zhǔn)尺寸： 1067 x 737 x 1524 mm（寬/高/深，不含泵）
重量：約204千克（不含泵）

可選項(xiàng)

● 壓力控制器
● 1%精度的真空規(guī)

● 石英腔門
● 指示燈柱
● 條形碼閱讀器
● 工藝氣體切換器
● 光譜終點(diǎn)檢測(cè)器

● 耐腐蝕性氣體的MFC
● 1000 瓦13.56 MHz射頻發(fā)生器
● 真空泵（油泵或干泵）

關(guān)鍵詞：控制器真空泵