單靶磁控光纖繞絲濺射鍍膜儀,專用于光纖制備薄膜,采用不銹鋼高真空腔體,配有帶擋板的觀察窗,可以觀察鍍膜過(guò)程,擋板則能有效防止觀察窗被膜層遮蔽,便于實(shí)驗(yàn)的觀察記錄。腔體上頂開(kāi)式設(shè)計(jì)開(kāi)啟方便,易于清理,十分適合實(shí)驗(yàn)室使用。整機(jī)采用模塊化設(shè)計(jì),操作邏輯簡(jiǎn)單,操作界面直觀,利于上手.
光纖鍍膜儀技術(shù)參數(shù):
繞絲機(jī)構(gòu) | 尺寸 | Φ15mmx245mm |
|
|
| 繞絲速度 | 1-300r/min |
|
|
磁控濺射頭 | 數(shù)量 | 2 英寸 x1 | 冷卻方式 | 水冷 |
真空腔體 | 腔體尺寸 | Φ213mm X 307mm | 觀察窗口 | φ80mm |
腔體材料 | 不銹鋼 304 | 開(kāi)啟方式 | 上頂開(kāi)式、左側(cè)開(kāi)式 | |
電源配置 | 直流電源數(shù)量 | 1 臺(tái) | 輸出功率 | ≤300W |
匹配方式 | 自動(dòng)匹配 |
|
| |
水冷系統(tǒng) | 水箱容積 | 9L | 流量 | 10L/min |
供氣系統(tǒng) | 類型 | 手動(dòng)微量調(diào)節(jié)閥 |
|
|
真空系統(tǒng) | 前級(jí)泵 | 雙極旋片泵 | 抽速 | 1.1L/s |
次級(jí)泵 | 渦輪分子泵 | 抽速 | 60L/s | |
抽氣口 | ISO63 | 出氣口 | KF16 | |
真空計(jì) | 復(fù)合真空計(jì) | |||
其他 | 供電電壓 | AC220V,50Hz | 整機(jī)功率 | 2kw |