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Depolab 200 等離子體沉積機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2021/7/13 20:39:44
  • 訪問次數(shù)321
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深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司,經(jīng)過十多年的紫外光專業(yè)技術(shù)沉淀,可以根據(jù)客戶特殊要求提供定制化服務(wù),研發(fā)設(shè)計(jì)組裝:紫外臭氧清洗機(jī)(UV清洗機(jī)),準(zhǔn)分子清洗機(jī),等離子清洗機(jī)/去膠機(jī)等科研以及生產(chǎn)設(shè)備,擁有自主品牌及注冊(cè)商標(biāo)。 同時(shí)我們代理歐美日多家高科技設(shè)備廠家高性價(jià)比產(chǎn)品, 始終堅(jiān)持創(chuàng)新, 技術(shù), 服務(wù), 誠(chéng)信的企業(yè)文化,為廣大中國(guó)及海外客戶提供的儀器設(shè)備和材料的整體解決方案。 應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體/微納,光電/光學(xué), 生命科學(xué)/生物醫(yī)療等領(lǐng)域的研發(fā)和生產(chǎn), 客戶群體例如高等院校, 研究所,科技企業(yè)及醫(yī)療機(jī)構(gòu)等。 半導(dǎo)體/微納,光電/光學(xué) 產(chǎn)品主要有: 德國(guó)ParcanNano(Nano analytik)針尖光刻機(jī),電子束光刻機(jī), 激光直寫光刻機(jī),紫外光刻機(jī),微納3D打印機(jī),德國(guó)Sentech刻蝕機(jī)/鍍膜機(jī)及原子沉積,英國(guó)HHV磁控/電子束/熱蒸發(fā)鍍膜機(jī),微波離子沉積機(jī)MPCVD,芬蘭Picosun原子層沉積機(jī),電子顯微鏡, 德國(guó)Bruker布魯克原子力顯微鏡/微納表征/光譜儀, 美國(guó)THERMO FISHER賽默飛光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀,美國(guó)Sonix超聲波顯微鏡, 德國(guó)耐馳Netzsch熱分析儀, 德國(guó)Optosol吸收率發(fā)射率檢測(cè)儀, 日本SEN UV清洗機(jī)/UV清洗燈,美國(guó)Jelight紫外清洗機(jī)/紫外燈管,德國(guó)Diener等離子清洗機(jī)等*技術(shù)產(chǎn)品。 生命科學(xué)/生物醫(yī)療 產(chǎn)品主要有:PCR儀,核酸質(zhì)譜儀/核酸檢測(cè)儀,電子顯微鏡,紫外設(shè)備,光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀,生物芯片,試劑,實(shí)驗(yàn)耗材等。 并可依據(jù)客戶需求,研發(fā)定制相關(guān)產(chǎn)品。我們以高性價(jià)比的優(yōu)勢(shì)為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù),為高等院校, 研究所,科技企業(yè)及醫(yī)療機(jī)構(gòu)等客戶提供儀器設(shè)備和材料。
電子顯微鏡
PECVD等離子體沉積工具Depolab 200將平行板等離子體源設(shè)計(jì)與直接負(fù)載相結(jié)合。
Depolab 200 等離子體沉積機(jī) 產(chǎn)品信息

PECVD Depolab 200 等離子體沉積機(jī)


成本效益

PECVD等離子體沉積工具Depolab 200將平行板等離子體源設(shè)計(jì)與直接負(fù)載相結(jié)合。

可升級(jí)性

根據(jù)其模塊化設(shè)計(jì),depolab200可以升級(jí)為更大的抽油機(jī)、低頻電源和額外的燃?xì)夤艿馈?/span>

SENTECH控制軟件

用戶友好功能強(qiáng)大的軟件包括模擬GUI,參數(shù)窗口,食譜編輯器,數(shù)據(jù)日志,用戶管理。

Depolab 200是由SENTECH公司開發(fā)的一種基本的等離子體增強(qiáng)化學(xué)沉積(PECVD)工具,它將用于均勻薄膜沉積的平行板電極設(shè)計(jì)與直接負(fù)載的經(jīng)濟(jì)有效設(shè)計(jì)相結(jié)合。從2英寸到8英寸的晶圓片和樣品片上的標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用開始,它可以逐步升級(jí)以適應(yīng)復(fù)雜的加工。

Depolab 200的突出特點(diǎn)是系統(tǒng)的堅(jiān)固性設(shè)計(jì)、可靠性和軟硬件的靈活性。在這個(gè)系統(tǒng)上開發(fā)了不同的程序。用于高品質(zhì)氮化硅和氧化硅層沉積。Depolab 200包括帶有氣箱、控制電子、計(jì)算機(jī)、背泵和主連接箱的反應(yīng)器單元。

Depolab 200等離子體增強(qiáng)沉積工具可在400℃以下的溫度范圍內(nèi)沉積SiO2、SiNx、SiONx和a- si薄膜。Depolab 200特別適用于蝕刻掩膜、膜、電隔離膜等介質(zhì)薄膜的沉積。

Depolab 200由森泰克*控制軟件操作,使用遠(yuǎn)程現(xiàn)場(chǎng)總線技術(shù)和非常友好的通用用戶界面。

Depolab 200

PECVD等離子體沉積工具

打開蓋子加載

適用于200毫米晶圓

基片溫度可達(dá)400℃

低應(yīng)力薄膜可選低頻混頻

干式抽油機(jī)

占用空間小

關(guān)鍵詞:反應(yīng)器
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