REAL RTP150型快速退火爐

　　產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

　　REAL RTP150型快速退火爐是韓國(guó)ULTECH公司的一款6寸片快速退火爐，采用革新的加熱技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)真正的基底溫度測(cè)量，不需要采用傳統(tǒng)快速退火爐的溫度補(bǔ)償，溫度控制精確，溫度重復(fù)性高，客戶包括國(guó)際上許多半導(dǎo)體公司及科研團(tuán)隊(duì)，是半導(dǎo)體制程退火工藝的理想選擇。

　　 技術(shù)特色：

　　- 真正的基片溫度測(cè)量，無(wú)需傳統(tǒng)的溫度補(bǔ)償

　　- 紅外鹵素管燈加熱

　　- 極其優(yōu)異的加熱溫度精確性與均勻性

　　- 快速數(shù)字PID溫度控制

　　- 不銹鋼冷壁真空腔室

　　- 系統(tǒng)穩(wěn)定性好

　　- 結(jié)構(gòu)緊湊，小型桌面系統(tǒng)

　　- 帶觸摸屏的PC控制

　　- 兼容常壓和真空環(huán)境，真空度標(biāo)準(zhǔn)值為5×10-3Torr，采用二級(jí)分子泵真空度低至5×10-6Torr

　　- 3路氣體（MFC控制）

　　- 沒(méi)有交叉污染，沒(méi)有金屬污染

　　 真實(shí)基底溫度測(cè)量技術(shù)介紹：

　　如上圖，由陣列式鹵素?zé)糨椛涑鰺崃拷?jīng)過(guò)石英窗口到達(dá)樣品表面，樣品被加熱，傳統(tǒng)的快速退火爐采用熱電偶進(jìn)行測(cè)量基片溫度，由于熱電偶與基片有一定距離，測(cè)量的不是基片真實(shí)的溫度，必須進(jìn)行溫度補(bǔ)償。

　　REAL RTP150型快速退火爐采用專用的一根片狀的Real T/C KIT進(jìn)行測(cè)溫，如上圖，接觸測(cè)溫儀與片狀Real T/C KIT相連，工作時(shí)片狀Real T/C KIT位于樣品上方很近的位置，陣列式鹵素?zé)糨椛涑鰺崃拷?jīng)過(guò)石英窗口到達(dá)樣品表面，樣品被加熱，片狀Real T/C KIT同時(shí)被加熱，由于基片與Real T/C KIT很近，它們之間也會(huì)進(jìn)行熱量傳遞，并很快達(dá)到熱平衡，所以片狀Real T/C KIT測(cè)量的溫度就無(wú)限接近基片真實(shí)的溫度，從而實(shí)現(xiàn)基片溫度的真實(shí)測(cè)量。

　　技術(shù)參數(shù)：

　　- 基片尺寸：6英寸

　　- 基片基座：石英針（可選配SiC涂層石墨基座）

　　- 溫度范圍：150-1250℃

　　- 加熱速率：10-150℃/S

　　- 溫度均勻性：≤±1.5% (@800℃, Silicon wafer)

　　≤±1.0% (@800℃, Substrate on SiC coated graphite susceptor)

　　- 溫度控制精度：≤ ±3℃

　　- 溫度重復(fù)性：≤ ±3℃

　　- 真空度：5.0E-3 Torr / 5.0E-6 Torr

　　- 氣路供應(yīng)：標(biāo)準(zhǔn)1路N2吹掃及冷卻氣路，由MFC控制（最多可選3路）

　　- 退火持續(xù)時(shí)間：≥35min@1250℃

　　- 溫度控制：快速數(shù)字PID控制

　　- 尺寸：870mm*650mm*620mm

　　基片類型：

　　- Silicon wafers硅片

　　- Compound semiconductor wafers化合物半導(dǎo)體基片

　　- GaN/Sapphire wafers for LEDs 用于LED的GaN/藍(lán)寶石基片

　　- Silicon carbide wafers碳化硅基片

　　- Poly silicon wafers for solar cells用于太陽(yáng)能電池的多晶硅基片

　　- Glass substrates玻璃基片

　　- Metals金屬

　　- Polymers聚合物

　　- Graphite and silicon carbide susceptors石墨和鍍碳化硅的石墨基座

　　?應(yīng)用領(lǐng)域：

　　離子注入/接觸退火，快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA)，快速熱氧化(RTO)，快速熱氮化(RTN)，可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環(huán)境下使用，SiAu, SiAl, SiMo合金化，低介電材料，晶體化，致密化，太陽(yáng)能電池片鍵合等。